[發明專利]基板清洗設備在審
| 申請號： | 201710305258.6 | 申請日： | 2017-05-03 |
| 公開（公告）號： | CN107159602A | 公開（公告）日： | 2017-09-15 |
| 發明（設計）人： | 李嘉 | 申請（專利權）人： | 深圳市華星光電技術有限公司 |
| 主分類號： | B08B1/04 | 分類號： | B08B1/04;H01L21/67 |
| 代理公司： | 深圳市德力知識產權代理事務所44265 | 代理人： | 林才桂 |
| 地址： | 518132 廣東*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 清洗 設備 | ||
1.一種基板清洗設備，其特征在于，包括：中空的承載桿(10)、設于承載桿(10)外表面上的毛刷(40)、與承載桿(10)一端連接的驅動裝置(20)、及與承載桿(10)另一端旋轉連接的進液管(30)；所述承載桿(10)上設有多個出水口(11)；
所述進液管(30)用于向承載桿(10)內部通入清洗液體；
所述出水口(11)用于將承載桿(10)內的清洗液體從承載桿(10)內部噴出至承載桿(10)外部，從而潤濕毛刷(40)并對毛刷(40)進行清洗。
2.如權利要求1所述的基板清洗設備，其特征在于，還包括設于承載桿(10)上的軸承(50)。
3.如權利要求1所述的基板清洗設備，其特征在于，所述承載桿(10)的材料為金屬或塑料。
4.如權利要求3所述的基板清洗設備，其特征在于，所述承載桿(10)的材料為304不銹鋼、316不銹鋼、聚丙烯、超高分子聚乙烯、或聚氯乙烯。
5.如權利要求1所述的基板清洗設備，其特征在于，所述驅動裝置(20)為電動機；
所述毛刷(40)通過粘貼的方式設于承載桿(10)的外表面。
6.如權利要求1所述的基板清洗設備，其特征在于，所述清洗液體為去離子水、超純水、洗滌劑、或三羥甲基氨基甲烷。
7.如權利要求1所述的基板清洗設備，其特征在于，所述出水口(11)為線狀出水口。
8.如權利要求7所述的基板清洗設備，其特征在于，所述線狀出水口的形狀為環狀、波浪狀、鋸齒狀、或斜線狀；
所述線狀出水口的寬度為0.01mm-15mm。
9.如權利要求1所述的基板清洗設備，其特征在于，所述出水口(11)為孔狀出水口。
10.如權利要求9所述的基板清洗設備，其特征在于，所述孔狀出水口的孔徑為0.01mm-15mm。
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