[發(fā)明專利]用于確定物體的3D結構的裝置

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201710304362.3
• 申請日: 2017-05-03
• 公開（公告）號: CN107388981A
• 公開（公告）日: 2017-11-24
• 發(fā)明（設計）人: A.克諾伊特爾
• 申請（專利權）人: 沃柯有限公司
• 主分類號: G01B11/24
• 分類號: G01B11/24
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司72001
• 代理人: 成城,安文森

1.一種用于確定物體（2）的3D結構的裝置，包括：

- 第一激光發(fā)射器（3），其生成具有第一波長的激光輻射，

- 第二激光發(fā)射器（5），其生成具有第二波長的激光輻射，

其中，所述第一波長與所述第二波長不同，

- 第一分束器（8），其將所述激光發(fā)射器（3、5）的激光輻射中的每個分成參考輻射（9）和照射輻射（10），其中所述照射輻射（10）撞擊在待測量的所述物體（2）上，被所述物體（2）反射為物體輻射（24）并與所述參考輻射（9）干涉，和

- 檢測器（14），其接收由此產生的干涉圖案，

其特征在于

選擇全息圖（22），其被設計成專屬地使以預定入射角范圍撞擊在所述選擇全息圖（22）上的物體輻射（24）偏轉，使得在所述物體輻射（24）的進一步的路徑上，所述物體輻射（24）以確定角度范圍內的角度撞擊在所述檢測器（14）的確定區(qū)域（26）上，并且

所述選擇全息圖（22）被進一步設計成使得允許在所述入射角范圍之外撞擊在所述選擇全息圖（22）上的物體輻射（24）通過而不被衍射，使得所述物體輻射（24）在其進一步的路徑上，或者經(jīng)過所述檢測器（14）的確定區(qū)域（26），或者以確定角度范圍之外的角度撞擊在所述確定區(qū)域（26）上。

2.根據(jù)權利要求1所述的裝置，其特征在于，所述選擇全息圖（22）是體積全息圖，其被設計為專屬地使?jié)M足布拉格方程的物體輻射（24）偏轉，使得所述物體輻射（24）在其進一步的路徑中，撞擊在所述檢測器（14）上，其中，如果不滿足布拉格方程，則所述物體輻射（24）通過所述體積全息圖而不被衍射。

3.根據(jù)權利要求1所述的裝置，其特征在于，僅以所述確定角度范圍內的角度撞擊在所述確定區(qū)域（26）上的這種物體輻射（24）由評估單元評估。

4.根據(jù)權利要求1所述的裝置，其特征在于第二分束器（12），其被由所述選擇全息圖（22）偏轉的所述物體輻射（24）碰撞，所述物體輻射（24）沿所述檢測器（14）的方向被偏轉，使得其撞擊到所述檢測器（14）的確定區(qū)域上。

5.根據(jù)權利要求4所述的裝置，其特征在于，所述第二分束器（12）被布置成使得離開所述選擇全息圖（22）而不被衍射的物體輻射（24）撞擊在所述第二分束器（12）上，被反射并且經(jīng)過所述檢測器（14）的確定區(qū)域（26）。

6.根據(jù)權利要求1所述的裝置，其特征在于，所述激光發(fā)射器（3、5）布置成彼此間隔一距離，其中，各個所述激光發(fā)射器（3、5）的波長之間的差異與所述激光發(fā)射器（3、5）之間的距離之比在從10^-6到10^-3的范圍中。

7.根據(jù)權利要求6所述的裝置，其特征在于，各個所述激光發(fā)射器（3、5）的波長之間的差異與所述激光發(fā)射器（3、5）之間的距離之比為10^-5。

8. 根據(jù)權利要求6所述的裝置，其特征在于透鏡（7），其使所述激光輻射（4）準直并沿所述第一分束器（8）的方向引導所述激光輻射（4），其中，所述第一分束器（8）包括光柵（15），所述光柵（15）根據(jù)入射的所述激光輻射（4）的波長并且以給定的波長差異與所述激光發(fā)射器（3、5）之間的距離之比使入射的所述激光輻射（4）的部分偏轉為照射輻射（10），使得所述激光發(fā)射器（3、5）的準直的照射光束（10、10a）以在從0到4 mrad的范圍中的相對于中心光束（10a）的最大角譜范圍離開所述分束器（8）。

9. 根據(jù)權利要求8所述的裝置，其特征在于，所述激光發(fā)射器（3、5）的準直的照射光束（10、10a）以在從0.5到3 mrad的范圍中的相對于中心光束（10a）的最大角譜范圍離開所述分束器（8）。

10.根據(jù)權利要求1所述的裝置，其特征在于達曼光柵（17），其將激光發(fā)射器（3、5）的照射輻射（10）分成若干準直的照射光束（18），所述準直的照射光束（18）彼此緊鄰地豎直地設置并撞擊在待掃描的所述物體（2）上成為照射斑。

11.根據(jù)權利要求10所述的裝置，其特征在于，所述照射斑彼此緊鄰地設置，使得它們一起形成照射帶。