[發明專利]一種用于隔離束源室與質譜的超高真空超薄插板閥有效
| 申請號： | 201710304357.2 | 申請日： | 2017-05-03 |
| 公開（公告）號： | CN106979349B | 公開（公告）日： | 2023-04-28 |
| 發明（設計）人： | 楊玖重;陳夏敏;文武;李天宇;潘洋 | 申請（專利權）人： | 中國科學技術大學 |
| 主分類號： | F16K3/02 | 分類號： | F16K3/02;F16K3/314;F16K3/30;F16K31/60 |
| 代理公司： | 合肥金安專利事務所(普通合伙企業) 34114 | 代理人： | 金惠貞 |
| 地址： | 230026 安*** | 國省代碼： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 用于 隔離 束源室 超高 真空 超薄 插板 | ||
【說明書】：
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