[發明專利]段差測量方法及裝置以及液晶顯示基板制造方法

在審

• 申請號: 201710303975.5
• 申請日: 2017-05-03
• 公開（公告）號: CN106990566A
• 公開（公告）日: 2017-07-28
• 發明（設計）人: 葉巧云
• 申請（專利權）人: 深圳市華星光電技術有限公司
• 主分類號: G02F1/13
• 分類號: G02F1/13;G01B21/30
• 代理公司: 深圳市威世博知識產權代理事務所(普通合伙)44280
• 代理人: 鐘子敏

技術領域

本發明涉及領域液晶顯示基板，特別是涉及段差測量方法及裝置以及液晶顯示基板制造方法。

背景技術

傳統的CF(Color filter，彩色濾光片)制作工藝設計模式較為簡單，RGB膜面下沒有任何膜層，膜面平坦，僅有膜邊因為與光阻交疊，產生牛角影響膜面平整度，因此，在制程監控時，只需要單方向監控即可滿足需求。

COA(Color Filter on Array，彩色濾光片整合于陣列基板)工藝中CF制作工藝設計模式較為復雜，在CF制程開始前，基板上已經進行了4道工序，膜面平坦度惡化，同時子像素會在X或Y方向上開線，膜面水平變異增加，僅僅在一個方向上監控膜面平整度已經無法滿足需求。

發明內容

本發明主要解決的技術問題是提供一種段差測量方法，能夠更全面地監控液晶顯示基板在制程中的平整度。

為解決上述技術問題，本發明采用的一個技術方案是：提供一種段差測量方法，包括：在待測物體表面選取測量基準點，并將所述測量基準點的值設置為對照值；選取至少一個待測量的點位；測距儀器移動到待所述測量的點位的正上方；所述測距儀器以所述待測量的點位為起點，分別向至少兩個方向移動并測量；將所述測距儀器在移動過程中測得的數據與所述對照值進行對比并記錄或輸出比對結果。

為解決上述技術問題，本發明采用的另一個技術方案是：提供一種段差測量裝置，包括：測距儀器，所述測距儀器用于在移動過程中測量待測物體表面在行程距離內的高度；控制電路，耦接所述測距儀器，所述控制電路用于控制所述測距儀器的所述待測物體表面的移動；對所述測距儀器測量出的高度與測量基準點的高度值進行對比，并判斷差值是否超過閾值；輸出電路，耦接所述控制電路，所述輸出店里輸出判斷差值是否超過閾值的結果。

為解決上述技術問題，本發明采用的還有一個技術方案是：一種液晶顯示基板制造方法，在完成COA基板的每一道制程之后，都要進行上述段差測量方法。

本發明的有益效果是：區別于現有技術的情況，本發明可以一次性監控至少兩個方向上監控液晶顯示基板在制程中的平整度，可以提高工作效率并保證產品質量。

附圖說明

圖1是本發明段差測量方法實施例的流程示意圖；

圖2是本發明段差測量裝置實施例的框架示意圖；

圖3是本發明液晶顯示基板制造方法的流程示意圖。

具體實施方式

下面將結合本發明實施例中的附圖，對本發明實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本發明一部分實施例，而不是全部的實施例。基于本發明中的實施例，本領域普通技術人員在沒有做出創造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，均屬于本發明保護的范圍。

請參閱圖1，圖1是本發明段差測量方法的流程示意圖。本發明實段差測量方法包括：

S101:在待測物體表面選取測量基準點，并將所述測量基準點的值設置為對照值；

具體地說，待測物體的表面不局限于平面，可以是球面、曲面、或者凹凸不平的表面。測量基準點可以是一個或者多個，針對不同的檢測需求選取不同的測量基準點。一般來說是選擇待測物體的基體表面這種易于量測且誤差較小的區域作為測量基準點的選擇區域，在待測物體的基體表面沒有暴露在外時，可以選擇與測量點的厚度而言，覆蓋物厚度較薄的區域。在選取好測量基準點后，將測量基準點的高度值記錄下，作為以后測量的比對標準。

S102:選取至少一個待測量的點位；

具體地說，待測量的點位為人為規定的或者設備根據預先存儲的程序運行相應的軌道。一般來講，待測量的點位一般選取在段差值容易超標的區域，如多層覆蓋物的重疊處，或者兩種不同覆蓋物的交界處，也可以采取隨機抽樣檢測的方法，隨機的設置待測量的點位。

S103:測距儀器移動到所述待測量的點位的正上方；

具體地說，測距儀器的移動可以由人工執行，也可以由處理器根據預設的程序讓測距儀器根據預設的路徑移動。

S104:所述測距儀器以所述待測量的點位為起點，分別向至少兩個方向移動并測量；

具體地說，在一個實施例中，測距儀器以待測量的點位為起點，先向一個方向移動并測量，接著以前次測量終點為起點，向另一個方向移動并測量，兩個方向的夾角可以是90°也可以是其他任意角度。

在另一個實施例中，測距儀器以待測量的點位為起點，先向一個方向移動并測量；接著測距儀器需要回到起點，再向另一個方向移動并測量兩個方向的夾角可以是90°也可以是其他任意角度。