[發(fā)明專利]金屬部件的制造方法以及電子設(shè)備的制造方法有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201710303452.0 | 申請日： | 2017-05-02 |
| 公開（公告）號： | CN107523829B | 公開（公告）日： | 2021-05-25 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 山村智香;菅原宏之;西村悟 | 申請（專利權(quán)）人： | 精工愛普生株式會社 |
| 主分類號： | C23F1/02 | 分類號： | C23F1/02;F16H55/17 |
| 代理公司： | 北京三友知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11127 | 代理人： | 李輝;鄧毅 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 金屬 部件 制造 方法 以及 電子設(shè)備 | ||
本發(fā)明提供金屬部件的制造方法以及電子設(shè)備的制造方法，該金屬部件的制造方法能夠?qū)崿F(xiàn)角部的精密加工，使齒輪等的齒頂?shù)那拾霃奖纫酝 Ｔ摻饘俨考闹圃旆椒ò缦鹿ば颍汗ば?a)，在金屬膜上形成掩模用膜，在俯視時，該掩模用膜具有第1邊、第2邊和從第1邊與第2邊之間的區(qū)域延伸出的延伸部；以及工序(b)，通過對金屬膜進(jìn)行蝕刻，形成角部，在俯視時，該角部具有第3邊和第4邊。
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明涉及通過蝕刻來制造金屬部件的方法以及使用這樣的金屬部件制造電子設(shè)備的方法等。
背景技術(shù)
例如，作為制造齒輪等金屬部件的尖銳的齒頂?shù)姆椒?，?a title="鉆瓜專利網(wǎng)">專利文獻(xiàn)1中，示出了基于2次沖壓加工的制造方法。在2次沖壓加工的情況下，由于利用2個模并分兩次地對金屬薄板進(jìn)行沖壓，因此，能夠?qū)X頂加工為銳角，能夠使曲率半徑R變小。
專利文獻(xiàn)1：日本特開平6-312866號公報(權(quán)利要求1、0024段、圖4的(b))
另一方面，也能夠通過蝕刻加工(而非沖壓加工)對齒輪等金屬部件進(jìn)行成型。在對金屬膜進(jìn)行濕蝕刻來制造金屬部件的情況下，即便使蝕刻用的掩模的角部為銳角，也存在來自側(cè)部的蝕刻侵蝕導(dǎo)致齒的前端變圓的問題。無論如何，為了使齒輪等的齒頂銳角化而使齒頂?shù)那拾霃竭M(jìn)一步變小，期望能夠進(jìn)行角部的精密加工的金屬部件的制造方法。
此外，在通過1次濕蝕刻制造細(xì)微的形狀的金屬部件的情況下，由于通過濕蝕刻各向同性地蝕刻金屬膜，因此，金屬部件的邊緣未被加工成相對于底面呈直角，成為形成有傾斜邊緣的狀態(tài)。因此，當(dāng)金屬部件的形狀細(xì)微時，該細(xì)微的部分的厚度變薄，強(qiáng)度下降。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的幾個方式涉及能夠進(jìn)行角部的精密加工的金屬部件的制造方法。此外，本發(fā)明的幾個方式涉及即使金屬部件的形狀細(xì)微也能夠抑制強(qiáng)度下降的金屬部件的制造方法。而且，本發(fā)明的其他幾個方式涉及使用了這樣的金屬部件的電子設(shè)備的制造方法等。
本發(fā)明的第1方式的金屬部件的制造方法包含如下工序：工序(a)，在金屬膜上形成掩模用膜，在俯視時，該掩模用膜具有第1邊、第2邊和從第1邊與第2邊之間的區(qū)域延伸出的延伸部；以及工序(b)，通過對金屬膜進(jìn)行蝕刻，形成角部，在俯視時，所述角部具有第3邊和第4邊。
根據(jù)本發(fā)明的第1方式，通過在金屬膜上形成具有從第1邊與第2邊之間的區(qū)域延伸出的延伸部的掩模用膜并對金屬膜進(jìn)行蝕刻，來自側(cè)部的蝕刻侵蝕所導(dǎo)致的角部的前端變圓被掩模用膜的延伸部抑制。其結(jié)果，能夠進(jìn)行角部的精密加工，例如，能夠使齒輪等的齒頂?shù)那拾霃奖纫酝 ?/p>
這里，可以是，工序(b)包含：沿著掩模用膜的第1邊對金屬膜進(jìn)行蝕刻而形成角部的第3邊，沿著掩模用膜的第2邊對金屬膜進(jìn)行蝕刻而形成角部的第4邊，并且在掩模用膜的延伸部的下層對金屬膜進(jìn)行蝕刻而形成角部的前端。由此，能夠以與角部的第3以及第4邊連續(xù)的方式規(guī)定角部的前端形狀。
此外，期望的是，角部的前端具有小于0.03mm的曲率半徑。由此，在使與角部的前端接觸的對象物移動的齒輪等中，能夠在使角部的前端與對象物接觸時得到充分的摩擦力。
而且，可以是，工序(b)包含形成齒輪，該齒輪的多個角部沿著圓周配置，該齒輪經(jīng)由連接桿與金屬膜的其他區(qū)域連接，掩模用膜的延伸部具有比連接桿的寬度小的寬度。由此，在金屬膜的蝕刻工序中，能夠使齒輪的齒頂銳角化而使齒頂?shù)那拾霃阶冃?，另一方面，即使金屬膜從?cè)部被蝕刻侵蝕，也能夠使連接桿殘留。
以上，可以是，掩模用膜的延伸部在與第1邊以及第2邊的端部隔開第1距離的位置處具有第1寬度，在與第1邊以及第2邊的端部隔開比第1距離大的第2距離的位置處具有比第1寬度小的第2寬度。由此，能夠使掩模用膜的延伸部的形狀接近角部的前端形狀，縮短金屬膜的蝕刻所需的時間。
可以是，本發(fā)明的第1方式的金屬部件的制造方法在工序(a)之前，還具有將金屬膜與輸送用帶貼合的工序。由此，即使是薄的金屬膜，也能夠無破損地進(jìn)行加工。
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