[發明專利]一種太陽能電池干法制絨的彈片裝置

在審

• 申請號: 201710302645.4
• 申請日: 2017-05-03
• 公開（公告）號: CN107195726A
• 公開（公告）日: 2017-09-22
• 發明（設計）人: 朱海劍;上官泉元
• 申請（專利權）人: 常州比太科技有限公司
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18
• 代理公司: 北京集智東方知識產權代理有限公司11578
• 代理人: 張紅,程立民

技術領域

本發明屬于太陽能電池生產技術領域，涉及一種太陽能電池干法制絨技術，特別涉及一種太陽能電池干法制絨的彈片裝置。

背景技術

太陽能電池制造近年來得到了飛速發展，利用晶硅太陽能發電在全世界已經有250GW 的電站安裝容量。為了使太陽能發電更具有商業優勢，業界在不斷尋求技術革新，使光電轉換效率更高，生產成本更低，環境影響最小。

干法制絨是最近才開始產業化的一種技術，它利用真空中化學刻蝕的方法，把原光滑硅片表面在納米級粗糙化，使入射光在硅表面的反射率從30% 降低到10% 以下，相比于傳統的濕法（在溶液中）制絨，反射率只能到達20% 左右，而且避免了使用強酸或強堿制絨，不僅減少污染環境，而且降低了成本。由于反射率降低，表面顏色發黑，所以俗稱“黑硅”。

授權公告號為CN 102534622 B的中國發明專利公開了一種“在晶硅太陽能電池片表面制絨的方法”，該方法具體的工藝步驟如下：①自動傳送裝置帶動硅片載板，通過硅片上料將需刻蝕硅片置于硅片載板上；②載有硅片的硅片載板在自動傳輸裝置的帶動下經過平行放置的線性等離子源，載有硅片的硅片載板在自動傳輸裝置的帶動下在真空中按一定速度經過線性等離子源；③刻蝕后的氣體通過真空泵及其導管抽走；④硅片載板經過硅片下料裝置使硅片下料，得成品黑硅。其優點是：①等離子密度高，對硅表面損傷低，使所得的黑硅電池片轉換效率高；②刻蝕速度度快，增加了產量；③載板是放在接地電極上的，這樣使離子源更加穩定。

上述結構由于載板是在運動狀態下經過平行放置的線性等離子源而實現載板上硅片表面的刻蝕，且帶有硅片的載板經過線性等離子源時是靠近接地的第二板并從第二板上通過，在真空中一定壓力下，當合適的射頻電源存在時，在兩塊平行板之間氣體放電形成等離子體。該種結構需要設置單獨的第二板進行接地以實現等離子體的產生，且在刻蝕過程中產生的大量廢塵容易掉落在載板下方的第二板上并沉積，廢塵的沉積導致第二板的導電性變差而影響兩塊平行板之間的等離子體密度，從而需要加大射頻電源的能量并定期清洗第二板，不斷加大射頻電源的能量無疑增大了能耗，而定期清洗需要中斷刻蝕過程而不利于太陽能電池硅片的連續化干法制絨，從而限制了上述干法制絨的推廣應用。

發明內容

為解決上述技術問題，本發明提供了一種太陽能電池干法制絨的彈片裝置，其設置在放置有線性等離子源的腔體內，所述腔體內還設置有：

對應設置在所述線性等離子源下方以用于驅使載板線性運行的滾輪，以及彈性導電結構；

所述彈性導電結構包括對應所述載板線性運行方向設置的安裝座，每側所述安裝座的上端設置有至少一個彈性導電體，所述安裝座的底部通過導電連接裝置連接至外部接地電源以與所述彈性導電體形成電連接；

所述彈性導電體在復位狀態下的頂端水平位置高于所述滾輪的頂端水平位置；當所述載板通過時，所述彈性導電體產生彈性變形并提供恒定的彈力以持續接觸所述載板的下表面。

其中，所述彈性導電體為彈片或彈簧，或其他具有類似形狀的彈性結構，既能保證彈片和載板間的良好導通，也能承受多次的受壓下彈和自動復原。

其中，所述彈片的截面呈銳角夾角或垂直夾角并通過一側水平安裝在所述安裝座上并使銳角朝向所述載板線性運行的方向，且復位狀態下所述彈片的最高點水平位置高于所述滾輪最高點水平位置，當所述載板通過時，所述彈片產生彈性變形而形成銳角夾角并提供恒定的彈力以持續接觸所述載板的下表面。

其中，每側所述安裝座上沿所述載板線性運行方向均設置有至少一排所述彈性導電體，每排所述彈性導電體包含至少一個所述彈性導電體。

優選的，所述載板線性運行至所述彈性導電體上方后，每塊所述載板下方對應接觸有至少一個所述彈性導電體。

優選的，所述載板線性運行至所述彈性導電體上方后，每塊所述載板下方對應接觸有一個或兩個或三個所述彈性導電體，且所述彈性導電體均勻分布以滿足持續導電的需求為準，對所述彈性導電體的排數、間距以及每塊所述載板對應的所述彈性導電體數量均不做具體限定。

進一步的，所述彈性導電體的頂端具有向內彎曲的弧度以與所述載板下表面形成持續的線接觸并導電，該弧度設置可以有效減少與所述載板下表面的摩擦力并且所述彈片的安裝方向不受限制。