[發(fā)明專利]一種圓角三角形圖形化襯底在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 201710295714.3 | 申請日： | 2017-04-28 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN107039566A | 公開（公告）日： | 2017-08-11 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 梁宗文;王肖磊;孫智江 | 申請（專利權(quán)）人： | 海迪科（南通）光電科技有限公司 |
| 主分類號(hào)： | H01L33/20 | 分類號(hào)： | H01L33/20;H01L33/22;H01L33/10 |
| 代理公司： | 北京一格知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙)11316 | 代理人： | 滑春生 |
| 地址： | 226500 江蘇*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 三角形 圖形 襯底 | ||
1.一種圓角三角形圖形化襯底，其特征在于：包括一襯底，所述襯底表面有周期化凸起或凹陷圖形，所述凸起或凹陷圖形的底邊為圓角三角形且緊致排列，即每個(gè)排列圓角三角形任一邊的垂直平分線通過該圓角三角形與相應(yīng)的相鄰圓角三角形的中心，且相鄰圓角三角形之間具有間隙，排列圓角三角形的任一邊與相鄰圓角三角形對應(yīng)的邊關(guān)于該間隙軸對稱。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的圓角三角形圖形化襯底，其特征在于：所述周期化圖形的長度周期為100～8000 nm，周期化圖形的底邊邊長為10～5000 nm，周期化圖形的高度為0.1～10 μm，相鄰圓角三角形之間的間隙為50～1000 nm。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的圓角三角形圖形化襯底，其特征在于：所述凸起或凹陷圖形為圓角三角臺(tái)形或圓角三角錐形中的任一種。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的圓角三角形圖形化襯底，其特征在于：所述圓角三角形的頂角的弧度的長度為0～500 nm。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的圓角三角形圖形化襯底，其特征在于：所述襯底為藍(lán)寶石、碳化硅、硅或鋁酸鋰中的任一種。
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