[發(fā)明專利]用于半導(dǎo)體工藝控溫設(shè)備的石蠟相變蓄熱溫度調(diào)節(jié)裝置

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201710294681.0
• 申請日: 2017-04-28
• 公開（公告）號: CN106969532A
• 公開（公告）日: 2017-07-21
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 芮守禎;何茂棟;張申;劉紫陽;孫華敏;趙力行;鄒昭平;蔣俊海;于浩
• 申請（專利權(quán)）人: 北京京儀自動(dòng)化裝備技術(shù)有限公司
• 主分類號: F25B21/02
• 分類號: F25B21/02;F25B49/02
• 代理公司: 北京清亦華知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙)11201
• 代理人: 廖元秋

1.一種用于半導(dǎo)體工藝控溫設(shè)備的石蠟相變蓄熱溫度調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，包括外殼(25)以及位于該外殼內(nèi)的多個(gè)溫度調(diào)節(jié)單元，相鄰兩個(gè)溫度調(diào)節(jié)單元之間、以及溫度調(diào)節(jié)單元與外殼之間均設(shè)有壓縮機(jī)排氣換熱腔(22)；每個(gè)溫度調(diào)節(jié)單元均包括中部的載冷劑換熱腔(24)及位于該載冷劑換熱腔兩側(cè)的石蠟蓄熱腔(23)；各石蠟蓄熱腔(23)的上、下端分別均通過石蠟連通管(26)連通，各載冷劑換熱腔(24)的一端分別均設(shè)有載冷劑出液管接口、另一端分別均設(shè)有載冷劑進(jìn)液管接口，各壓縮機(jī)排氣換熱腔(22)一端分別均設(shè)有壓縮機(jī)排氣進(jìn)氣管接口、另一端分別均設(shè)有壓縮機(jī)排氣出液管接口。

2.如權(quán)利要求1所述的溫度調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，所述載冷劑換熱腔(24)、石蠟蓄熱腔(23)及壓縮機(jī)排氣換熱腔(22)內(nèi)分別填充有載冷劑、石蠟和壓縮機(jī)排氣。

3.如權(quán)利要求1所述的溫度調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，所述外殼和各換熱腔的腔壁均采用導(dǎo)熱材料制成。

4.如權(quán)利要求1所述的溫度調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，所述單個(gè)溫度調(diào)節(jié)單元的換熱面積為0.014m²、0.020m²、0.026m²、0.050m²、0.095m²中的任一種。