[發明專利]平臺式噴灑裝置在審
| 申請號: | 201710294530.5 | 申請日: | 2017-04-28 |
| 公開(公告)號: | CN109225713A | 公開(公告)日: | 2019-01-18 |
| 發明(設計)人: | 王郁升;許文領 | 申請(專利權)人: | 均豪精密工業股份有限公司 |
| 主分類號: | B05B13/02 | 分類號: | B05B13/02;B05B13/04;B05B15/60;B05B15/68 |
| 代理公司: | 北京康信知識產權代理有限責任公司 11240 | 代理人: | 陳鵬;李靜 |
| 地址: | 中國*** | 國省代碼: | 中國臺灣;71 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 噴灑 平移驅動機構 裝置本體 噴灑裝置 噴嘴 噴灑管 平臺式 平移往復運動 沖擊力量 組設置 流體 基板 腔室 室內 驅動 力量 | ||
一種平臺式噴灑裝置,包括一裝置本體、一噴灑組及一平移驅動機構。裝置本體內部形成有腔室。噴灑組設置于裝置本體的腔室內,噴灑組包含多個噴灑管,每一噴灑管的底部間隔的設有多個噴嘴,該些噴嘴固定朝向下方。平移驅動機構設置于裝置本體上,平移驅動機構連接于噴灑組,平移驅動機構能用以驅動噴灑組平移往復運動。由此,流體對于基板的沖擊力量固定,噴灑的力量較為均勻。
技術領域
本發明涉及一種平臺式噴灑裝置,尤其涉及一種可通過噴嘴對基板的整個表面上均勻供給流體的噴灑裝置。
背景技術
液晶顯示面板使用具有多層結構的功能性薄膜的基板,該基板通過薄膜蒸鍍工藝、照相平版印刷工藝以及蝕刻及剝離工藝而制造。在各工藝中,蝕刻及剝離工藝為直接將具有預定圖案的功能性薄膜真正形成在基板上的工藝,該工藝采用向基板噴射蝕刻液或剝離液等流體的方式。例如臺灣專利證書號第I387488號所披露的“流體噴射裝置”,包括:具有作業空間的作業槽;用于噴射流體的噴嘴;相隔配置在該作業空間的多個噴射管;與該噴射管相連接且通過連桿運動而使該噴嘴的噴射角度發生變化的動力傳遞機構;以及為使該動力傳遞機構進行連桿運動而產生動力的驅動源。
上述的流體噴射裝置提供通過噴嘴擺動動作對基板的整個表面上均勻供給流體,其為噴管不動而噴嘴左右張角往復噴灑方式,噴嘴搖擺至兩側與中央時,流體對于基板的沖擊力量大小不一,使得噴灑的力量較不均勻,導致蝕刻或剝離程度較不穩定。
綜上所述,本發明人察覺上述缺陷可以改善,于是潛心研究并配合學理的應用,終于提出一種設計合理且有效改善上述缺陷的本發明。
發明內容
本發明所要解決的技術問題,在于提供一種平臺式噴灑裝置,流體對于基板的沖擊力量固定,噴灑的力量較為均勻。
為了解決上述的技術問題,本發明提供一種平臺式噴灑裝置,包括:一裝置本體,其內部形成有腔室;一噴灑組,其設置于該裝置本體的腔室內,該噴灑組包含多個噴灑管,每一噴灑管的底部間隔地設有多個噴嘴,該些噴嘴固定朝向下方;以及一平移驅動機構,其設置于該裝置本體上,該平移驅動機構連接于該噴灑組,該平移驅動機構能用以驅動該噴灑組平移往復運動。
優選的,該平移驅動機構能驅動該噴灑組沿著該些噴灑管的縱長方向往復運動。
優選的,該平移驅動機構包含一馬達、一傳動盤、一擺動桿及一連動桿,該傳動盤連接于該馬達,該擺動桿的一端連接于該傳動盤的偏心位置,該擺動桿的另一端連接于該連動桿,該連動桿連接于該噴灑組。
優選的,該傳動盤的偏心位置設有多個連接點,該些連接點至該傳動盤的中心點的距離不相等,該擺動桿的一端連接于該些連接點的其中之一。
本發明的有益效果:
本發明的噴灑組設有多個噴灑管,每一噴灑管的底部設有多個噴嘴,且驅動機構能用于驅動噴灑組平移往復運動,使得由該些噴嘴噴灑出的流體全面性的噴灑至基板上。本發明的該些噴嘴固定朝向下方,因此流體對于基板的沖擊力量固定,使得噴灑的力量較為均勻。
再者,本發明平移驅動機構可包含馬達、傳動盤、擺動桿及連動桿,傳動盤的偏心位置設有多個連接點,該些連接點至傳動盤的中心點的距離不相等,擺動桿的一端連接于該些連接點的其中之一,使得傳動盤的偏心距離可以調整,噴灑組的平移滑動行程可以調整。
為使能更進一步了解本發明的特征及技術內容,請參閱以下有關本發明的詳細說明與附圖,然而附圖僅提供參考與說明用,并非用來對本發明加以限制者。
附圖說明
圖1為本發明平臺式噴灑裝置的立體圖。
圖2為本發明平臺式噴灑裝置局部構造的立體圖。
圖3為本發明平臺式噴灑裝置局部構造的平面圖。
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