[發明專利]一種硅片自動化檢測分類設備及其控制方法

有效

• 申請號: 201710293758.2
• 申請日: 2017-04-28
• 公開（公告）號: CN107093566B
• 公開（公告）日: 2019-11-22
• 發明（設計）人: 徐建紅
• 申請（專利權）人: 連江縣維佳工業設計有限公司
• 主分類號: H01L21/66
• 分類號: H01L21/66;H01L21/67
• 代理公司: 11390 北京和信華成知識產權代理事務所(普通合伙)
• 代理人: 胡劍輝<國際申請>=<國際公布>=<進入

一種硅片自動化檢測分類設備，包括傳輸臺、傳輸帶裝置、自動分揀裝置、控制處理裝置、控制臺，還包括：超聲波探頭、高清攝像頭、無影燈；所述傳輸臺裝置包括主臺、二級臺、三級臺；所述傳輸帶裝置還包括傳輸帶，所述傳輸帶包括主傳送帶、第二傳送帶、第三傳送帶，所述傳輸帶裝置還包括主驅動電機、第二驅動電機、第三驅動電機；所述自動分揀裝置還包括第一機械臂與第二機械臂，所述第一機械臂與第二機械臂上還分別設置有第一吸取裝置與第二吸取裝置；所述主臺還設置有第一測試臺與第二測試臺，所述第一測試臺設置有第一超聲波探頭，所述第二測試臺設置有第二超聲波探頭、高清攝像頭、無影燈；所述控制臺顯示檢測設備的運行狀態。

技術領域

本發明涉及硅片檢測領域，具體涉及一種硅片自動化檢測分類設備及其控制方法。

背景技術

在太陽能單晶硅片在大規模生產中，硅片表面質量檢測是重要一環，硅片的外觀品質會直接影響到后續的太陽能電池片的制作和轉換效率等。由于切割的厚度非常薄且硅的物理性能又非常脆，所以生產過程中常常產生諸如崩邊、硅落、缺角以及化學殘留色斑等幾何和表面缺陷此外，切割過程中由于刀具的問題常常產生有規律方向的鋸痕，這些鋸痕導致表面的不平整度。

目前，太陽能硅片檢測分級方法主要包括：目視以及計算機圖像處理兩種方式。硅片的人工檢驗存在著強度大、效率低、主觀誤差大等諸多缺陷,往往造成產品質量的不穩定，由于人工操作的不確定性，也會對硅片造成二次損傷。計算機圖像處理的檢測法，利用攝像頭采集傳輸帶上的硅片圖像傳送到處理器中分析，通過分料機構實現太陽能硅片的分揀，但是計算機圖像處理無法檢測出硅片內部的問題，無法準確對硅片進行分類，且現有技術一般僅對硅片進行一次檢測，無法準確將硅片分類，一次檢測需要的較長影響生產效率。

發明內容

發明目的：針對背景技術中提到的問題，本發明提供一種硅片自動化檢測分類設備及其控制方法。

技術方案：一種硅片自動化檢測分類設備，包括傳輸臺、傳輸帶裝置、自動分揀裝置、控制處理裝置、控制臺，還包括：第一超聲波探頭、第二超聲波探頭、高清攝像頭、無影燈；所述傳輸臺裝置包括主臺、二級臺、三級臺，所述二級臺、三級臺與主臺垂直且均位于主臺一側，所述主臺還有檢測入口與檢測出口，所述三級臺位于檢測入口一側，所述主臺的末端為一級品區，所述二級臺的末端為二級品區，所述三級臺的末端為三級品區；所述傳輸帶裝置還包括傳輸帶，所述傳輸帶設置在傳輸臺上，所述傳輸帶包括主傳送帶、第二傳送帶、第三傳送帶，所述主傳送帶設置于主臺，所述第二傳送帶設置于二級臺，所述第三傳送帶設置于三級臺，所述傳輸帶裝置還包括主驅動電機、第二驅動電機、第三驅動電機，所述主驅動電機與主傳送帶電連接，所述第二驅動電機與所述第二傳送帶連接，所述第三驅動電機與所述第三傳送帶連接；所述主驅動電機、第二驅動電機、第三驅動電機與控制處理裝置電連接；所述自動分揀裝置還包括可旋轉的第一機械臂與第二機械臂，所述第一機械臂與第二機械臂上還分別設置有第一吸取裝置與第二吸取裝置，所述自動分揀裝置還包括第一機械臂驅動裝置、第二機械臂驅動裝置、第一吸取驅動裝置、第二吸取驅動裝置，所述第一機械臂驅動裝置與第一機械臂電連接，所述第二機械臂驅動裝置與第二機械臂電連接，所述第一吸取驅動裝置與第一吸取裝置電連接，所述第二吸取驅動裝置與第二吸取裝置電連接；所述第一機械臂驅動裝置、第二機械臂驅動裝置、第一吸取驅動裝置、第二吸取驅動裝置與控制處理裝置電連接；所述主臺還設置有第一測試臺與第二測試臺，所述第一測試臺設置于主臺與三級臺連接位置的檢測入口一側，所述第二測試臺設置于主臺與二級臺連接位置的檢測入口一側，所述第一測試臺底部設置有第一超聲波探頭，所述第二測試臺底部設置有第二超聲波探頭、高清攝像頭、無影燈，所述第一超聲波探頭、第二超聲波探頭、高清攝像頭、無影燈與控制處理裝置電連接；所述控制臺與所述控制處理裝置電連接；所述控制臺顯示檢測設備的運行狀態，并對檢測設備進行操作。

作為本發明的一種優選方式，所述第二測試臺還設置有電阻率測試儀，所述電阻率測試儀分別與所述控制處理裝置電連接。

作為本發明的一種優選方式，所述傳輸帶為絕緣材質。