[發明專利]具有集成光束成形波導管的陶瓷氣體激光器

有效

• 申請號: 201710293355.8
• 申請日: 2011-11-07
• 公開（公告）號: CN107275914B
• 公開（公告）日: 2019-12-31
• 發明（設計）人: 克利福德·E·莫羅;文德林·魏茵加特納
• 申請（專利權）人: 依拉迪激光有限公司
• 主分類號: H01S3/00
• 分類號: H01S3/00;H01S3/03
• 代理公司: 11287 北京律盟知識產權代理有限責任公司
• 代理人: 王允方

1.一種激光器，其包括：

陶瓷體，其在其中界定含有激光氣體的腔室，所述陶瓷體包含部分界定所述腔室的第一區段的多個平行壁，所述腔室的所述第一區段界定波導管，所述陶瓷體進一步包含部分界定所述腔室的第二區段的多個傾斜壁，所述腔室的所述第二區段經成形以修改穿過所述腔室的所述第二區段行進的激光光束的橫向剖面，

第一面鏡子，其靠近所述腔室的第一末端而定位，

第二面鏡子，其靠近所述腔室的第二末端而定位，所述第二末端與所述第一末端相對，所述第一面鏡子及所述第二面鏡子在所述腔室的所述第一區段內形成諧振器，及

多個電極，其位于所述陶瓷體的外部且靠近所述多個平行壁，以使得當激發信號施加到所述多個電極時僅激發所述腔室的所述第一區段內的激光氣體，

其中所述腔室的所述第一區段和所述第二區段在所述腔室的所述第一末端和所述第二末端之間相鄰地延伸，

其中所述激光光束在所述腔室的所述第一末端從所述第一區段進入所述第二區段，并在所述腔室的所述第二末端離開所述第二區段，且

其中所述陶瓷體的所述多個傾斜壁經成形以使得當所述激光光束從所述腔室的所述第一區段進入所述腔室的所述第二區段時，所述激光光束具有橢圓形橫向剖面，且當所述激光光束離開所述腔室的所述第二區段時，所述激光光束具有圓形剖面。

2.根據權利要求1所述的激光器，其中所述多個電極經定位以使得當所述激發信號被施加到所述多個電極時不激發所述激光氣體靠近所述第一面鏡子及第二面鏡子的部分。

3.根據權利要求1所述的激光器，其中所述陶瓷體的所述多個傾斜壁之間的距離在所述腔室的所述第一末端與所述腔室的所述第二末端之間增加。

4.根據權利要求1所述的激光器，其中所述陶瓷體由氧化鋁Al₂O₃、氧化鈹BeO及氮化鋁AlN中的至少一者組成。

5.根據權利要求1所述的激光器，其中所述多個電極中的每一者包括一個多段電極。

6.根據權利要求1所述的激光器，其進一步包括經配置以使用射頻激發信號激發所述多個電極的能量源。

7.一種激光器，其包括：

含有激光氣體的腔室，所述腔室包含：(i)由彼此之間具有恒定間隙的第一多個電介質壁所部分限制的諧振器區段，以及(ii)由彼此之間具有可變間隙的第二多個電介質壁所部分限制的光束成形區段，其中所述第一多個電介質壁為在所述腔室的所述諧振器區段內行進的激光光束界定了波導管，且其中所述第二多個電介質壁經成形以修改在所述腔室的所述光束成形區段內行進的激光光束的橫向剖面，

一對鏡子，其位于所述腔室的所述諧振器區段的相對的第一末端和第二末端處，及

多個電極，其位于所述腔室外部且靠近所述第一多個電介質壁，以使得當激發信號被施加到所述多個電極時僅激發所述腔室的所述諧振器區段內的激光氣體，

其中所述腔室的所述諧振器區段和所述光束成形區段在所述腔室的所述第一末端和所述第二末端之間相鄰地延伸，

其中所述激光光束在所述腔室的所述第一末端從所述諧振器區段進入所述光束成形區段，并在所述腔室的所述第二末端離開所述光束成形區段，且

其中所述第二多個電介質壁經成形以使得當所述激光光束從所述腔室的所述諧振器區段進入所述腔室的所述光束成形區段時，所述激光光束具有橢圓形橫向剖面，且當所述激光光束離開所述腔室的所述光束成形區段時，所述激光光束具有圓形剖面。

8.根據權利要求7所述的激光器，其中所述腔室由氣密陶瓷器皿界定，且其中所述第一多個電介質壁及所述第二多個電介質壁包括所述氣密陶瓷器皿的壁。

9.根據權利要求7所述的激光器，其中所述多個電極經定位以使得當所述激發信號被施加到所述多個電極時，不激發所述激光氣體靠近所述一對鏡子中的每一者的部分。