[發(fā)明專利]一種抗熱沖擊的高溫復合絕緣層及制備方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201710292784.3
• 申請日: 2017-04-28
• 公開（公告）號: CN107142477B
• 公開（公告）日: 2019-12-10
• 發(fā)明（設計）人: 趙曉輝;劉子良;王洪敏;蔣洪川;蔣書文;張萬里
• 申請（專利權）人: 電子科技大學
• 主分類號: C23C28/00
• 分類號: C23C28/00;C23C18/12;C23C14/16;C23C14/08
• 代理公司: 51203 電子科技大學專利中心
• 代理人: 甘茂

1.一種抗熱沖擊的高溫復合絕緣層的制備方法，包括以下步驟：

步驟1.Al₂O₃～Al-O-N梯度層的制備：在制備有Al₂O₃熱生長層的復合基板上，采用溶膠凝膠法制備一層酸性鋁溶膠薄膜層，經加熱臺烘干，重復操作5～20次；然后將覆蓋多層鋁溶膠的復合基板置于N₂氣環(huán)境下，于800～1100℃高溫熱處理4～10h，得到Al₂O₃～Al-O-N梯度層；

步驟2.微晶Al₂O₃薄膜絕緣層的制備：在制備有Al₂O₃～Al-O-N梯度層的復合基板上，采用溶膠凝膠法制備一層酸性鋁溶膠薄膜層，經加熱臺烘干，重復操作5～20次；然后將覆蓋多層鋁溶膠的復合基板置于Ar氣環(huán)境下，升溫到500～700℃中溫熱處理30min～60min；在然后將復合基板置于真空度為10^-3Pa以下的真空退火爐中，于900～1100℃高溫下進行循環(huán)退火，得到微晶Al₂O₃薄膜絕緣層。

2.按權利要求1所述抗熱沖擊的高溫復合絕緣層的制備方法，其特征在于，所述步驟1和步驟2中所述采用溶膠凝膠法制備一層酸性鋁溶膠薄膜層的具體過程為：將復合基板固定于提拉機懸臂上，以100～600mm/min的下降速度使復合基板浸入酸性鋁溶膠中，其中鋁溶膠的粘度為1.0～8.0、質量分數(shù)為1～20％，浸滯10～120s后，以20～80mm/min的提拉速度將復合基板移出液面，取下復合基板置于加熱臺上，以150～400℃恒溫處理1～20min，然后取出冷卻至室溫。