[發(fā)明專(zhuān)利]粘片檢測(cè)系統(tǒng)及方法、反應(yīng)腔室、半導(dǎo)體加工設(shè)備

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201710291629.X
• 申請(qǐng)日: 2017-04-28
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN108807216B
• 公開(kāi)（公告）日: 2021-07-13
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李玉站
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): H01L21/67
• 分類(lèi)號(hào): H01L21/67;H01L21/66
• 代理公司: 北京天昊聯(lián)合知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11112
• 代理人: 彭瑞欣;張?zhí)焓?/td>

1.一種粘片檢測(cè)系統(tǒng)，其特征在于，包括：

輸氣管路，與氣源和靜電卡盤(pán)的冷媒氣體通道相連，用于將氣源提供的氣體經(jīng)過(guò)所述輸氣管路和冷媒氣體通道吹向晶片背面；

在所述輸氣管路上還設(shè)置有檢測(cè)模塊；

所述檢測(cè)模塊，與控制模塊相連，用以在所述輸氣管路內(nèi)輸送的氣體流量為定值時(shí)檢測(cè)其壓力值，或者，在所述輸氣管路內(nèi)輸送的氣體壓力為定值時(shí)檢測(cè)其流量值，并將檢測(cè)到的壓力值或流量值發(fā)送至控制模塊；

所述控制模塊，用于判斷所述檢測(cè)模塊發(fā)送的所述壓力值是否大于壓力閾值，若是，則確定發(fā)生粘片；或者，判斷所述檢測(cè)模塊發(fā)送的所述流量值是否小于流量閾值，若是，則確定發(fā)生粘片；其中，

所述壓力閾值為在給定的定值流量下不粘片時(shí)的壓力值；

所述流量閾值為在給定的定值壓力下不粘片時(shí)的流量值；或者，

所述壓力閾值的最大值為在所述靜電卡盤(pán)釋放所述晶片后，在給定的定值流量下可以保證頂針升起時(shí)所述晶片不會(huì)碎裂或者傾斜的壓力范圍的上限；所述壓力閾值的最小值為所述晶片傳入腔室，所述靜電卡盤(pán)并沒(méi)有加載直流電壓情況下，在給定的定值流量下檢測(cè)到的壓力；所述壓力閾值為所述最小值與所述最大值之間的數(shù)值；

所述流量閾值的最小值為在所述靜電卡盤(pán)釋放所述晶片后，在給定的定值壓力下可以保證頂針升起時(shí)所述晶片不會(huì)碎裂或者傾斜的流量范圍的下限；所述流量閾值的最大值為所述晶片傳入腔室，所述靜電卡盤(pán)并沒(méi)有加載直流電壓的情況下，在給定的定值壓力下檢測(cè)到的流量；所述流量閾值為所述最小值與所述最大值之間的數(shù)值。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的粘片檢測(cè)系統(tǒng)，其特征在于，還包括：

報(bào)警模塊，用于在控制模塊確定發(fā)生粘片時(shí)發(fā)出報(bào)警信號(hào)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的粘片檢測(cè)系統(tǒng)，其特征在于，所述檢測(cè)模塊包括流量表和壓力表。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的粘片檢測(cè)系統(tǒng)，其特征在于，所述氣源為氦氣源。

5.一種粘片檢測(cè)方法，其特征在于，包括以下步驟：

將在輸氣管路內(nèi)輸送的氣體的流量設(shè)置為定值；

打開(kāi)氣源，將氣源提供的氣體通過(guò)所述輸氣管路和冷媒氣體通道吹向晶片背面，并檢測(cè)所述輸氣管路內(nèi)輸送的氣體的壓力值；

判斷所述壓力值是否大于壓力閾值，若是，則確定發(fā)生粘片；其中，

所述壓力閾值為在給定的定值流量下不粘片時(shí)的壓力值；或者，

所述壓力閾值的最大值為在靜電卡盤(pán)釋放所述晶片后，在給定的定值流量下可以保證頂針升起時(shí)所述晶片不會(huì)碎裂或者傾斜的壓力范圍的上限；所述壓力閾值的最小值為所述晶片傳入腔室，所述靜電卡盤(pán)并沒(méi)有加載直流電壓情況下，在給定的定值流量下檢測(cè)到的壓力；所述壓力閾值為所述最小值與所述最大值之間的數(shù)值。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的粘片檢測(cè)方法，其特征在于，還包括：

若確定發(fā)生粘片，則發(fā)出報(bào)警信號(hào)。

7.一種粘片檢測(cè)方法，其特征在于，包括以下步驟：

將在輸氣管路內(nèi)輸送的氣體的壓力設(shè)置為定值；

打開(kāi)氣源，將氣源提供的氣體通過(guò)所述輸氣管路和冷媒氣體通道吹向晶片背面，并檢測(cè)所述輸氣管路內(nèi)輸送的氣體的流量值；

判斷所述流量值是否小于流量閾值，若是，則確定發(fā)生粘片；其中，

所述流量閾值為在給定的定值壓力下不粘片時(shí)的流量值；或者，

所述流量閾值的最小值為在靜電卡盤(pán)釋放所述晶片后，在給定的定值壓力下可以保證頂針升起時(shí)所述晶片不會(huì)碎裂或者傾斜的流量范圍的下限；所述流量閾值的最大值為所述晶片傳入腔室，所述靜電卡盤(pán)并沒(méi)有加載直流電壓的情況下，在給定的定值壓力下檢測(cè)到的流量；所述流量閾值為所述最小值與所述最大值之間的數(shù)值。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的粘片檢測(cè)方法，其特征在于，還包括：

若確定發(fā)生粘片，則發(fā)出報(bào)警信號(hào)。

9.一種反應(yīng)腔室，其特征在于，包括權(quán)利要求1-4任意一項(xiàng)所述的粘片檢測(cè)系統(tǒng)。

10.一種半導(dǎo)體加工設(shè)備，其特征在于，包括權(quán)利要求9所述的反應(yīng)腔室。