[發明專利]一種基于背面堿拋工藝的PERC電池制備方法

在審

• 申請號: 201710291360.5
• 申請日: 2017-04-28
• 公開（公告）號: CN107068807A
• 公開（公告）日: 2017-08-18
• 發明（設計）人: 瞿輝;徐春;曹玉甲;楊三川
• 申請（專利權）人: 江蘇順風光電科技有限公司
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18;H01L21/02
• 代理公司: 南京蘇高專利商標事務所(普通合伙)32204
• 代理人: 柏尚春

1.一種基于背面堿拋工藝的PERC電池制備方法，其特征在于，包括以下步驟：

1)制絨；

2)擴散；

3)背面酸洗；

4)背面拋光；

5)去磷硅玻璃；

6)背面ALD沉積氧化鋁；

7)正面PECVD沉積SiNx；

8)背面PECVD沉積疊層鈍化膜；

9)背面局部激光開口；

10)絲網印刷和燒結，

其中，步驟3)中硅片常溫經過背面酸洗機，酸槽中HF濃度3％～20％，步驟4)中背面拋光為槽式機內使用TMAH、拋光液以及水混合所配溶液對硅片背表面進行拋光，拋光后在HF溶液中去除PSG，TMAH濃度2％～5％，溫度40～80℃。