[發(fā)明專利]一種稀有氣體真空吸氣回收的方法和裝置在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 201710290587.8 | 申請日： | 2017-04-28 |
| 公開（公告）號： | CN106949377A | 公開（公告）日： | 2017-07-14 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 蔣小林;袁苑;羅寧;劉江淮;程謙勝;石成軍 | 申請（專利權(quán)）人： | 馬鞍山鋼鐵股份有限公司 |
| 主分類號： | F17D1/04 | 分類號： | F17D1/04;F17D3/01;F17D3/18 |
| 代理公司： | 馬鞍山市金橋?qū)＠碛邢薰?4111 | 代理人： | 唐宗才 |
| 地址： | 243000 安*** | 國省代碼： | 安徽;34 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 稀有氣體 真空 吸氣 回收 方法 裝置 | ||
1.一種稀有氣體真空吸氣回收的方法，所述方法包括在現(xiàn)有稀有氣體純化系統(tǒng)中增加一套真空吸氣回收系統(tǒng)，當純化系統(tǒng)停運時，可通過真空吸氣回收系統(tǒng)將系統(tǒng)管路中滯留的稀有氣體利用負壓吸氣原理回收入真空室中，當純化系統(tǒng)恢復(fù)運行時可將真空室中存儲的稀有氣體反充入純化系統(tǒng)中。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于：當純化系統(tǒng)恢復(fù)運行時再利用負壓吸氣原理優(yōu)先將真空室中存儲的稀有氣體反充入純化系統(tǒng)中，恢復(fù)真空吸氣回收系統(tǒng)至備用狀態(tài)。
3.一種稀有氣體真空吸氣回收的裝置包括：依次連接的真空室手動進氣閥(21)、真空室自動進氣閥(22)、真空室(23)、真空壓力表(24)、真空室出口閥(25)、真空泵(26)，以及連接上述設(shè)備及儀表的管道。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的裝置，其特征在于：所述裝置管道及真空室與氣體直接接觸部分均采用EP(電拋光)處理。
5.根據(jù)權(quán)利要求3或4所述的裝置，其特征在于：所述裝置上的閥門均采用不銹鋼波紋管閥。
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