[發(fā)明專(zhuān)利]分區(qū)曝光設(shè)備及使用其制造液晶顯示器的方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201710287905.5
• 申請(qǐng)日: 2017-04-27
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN107340690B
• 公開(kāi)（公告）日: 2019-02-12
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李東炫
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 樂(lè)金顯示有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): G03F7/20
• 分類(lèi)號(hào): G03F7/20;G02F1/13
• 代理公司: 北京集佳知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11227
• 代理人: 康建峰;吳瓊

1.一種分區(qū)曝光設(shè)備，其通過(guò)由多次掃描將光以光照射圖案發(fā)射而以劃分的方式使基板暴露于光，所述分區(qū)曝光設(shè)備包括片，所述片位于掃描交疊的交疊區(qū)域中的光照射圖案的一側(cè)并且根據(jù)位置控制曝光能量，

其中，所述交疊區(qū)域被劃分為至少兩個(gè)區(qū)域，即第一區(qū)域和第二區(qū)域，光落在所述至少兩個(gè)區(qū)域上，對(duì)于不同掃描的不同照射強(qiáng)度，所述第一區(qū)域和所述第二區(qū)域在照射強(qiáng)度方面具有不同的增加率；并且

其中，所述片在阻擋所述光照射圖案的底邊緣處具有一定曲率。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的分區(qū)曝光設(shè)備，其中，對(duì)所述交疊區(qū)域的邊緣處的曝光能量進(jìn)行控制使得當(dāng)所述照射強(qiáng)度中的一個(gè)為100％時(shí)，另一個(gè)照射強(qiáng)度為0％。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的分區(qū)曝光設(shè)備，其中，所述光照射圖案和所述底邊緣相遇的部分構(gòu)成所述交疊區(qū)域。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的分區(qū)曝光設(shè)備，其中，在所述第二區(qū)域中，所述片的底邊緣被向上切割，并且在所述第一區(qū)域中，所述底邊緣從所述光照射圖案和所述底邊緣相遇的點(diǎn)處朝向所述第二區(qū)域以一定角度切割。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的分區(qū)曝光設(shè)備，還包括輔助片，其在形狀上對(duì)應(yīng)于朝向所述第二區(qū)域大角度切割的部分。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的分區(qū)曝光設(shè)備，其中，所述輔助片安裝在所述第一區(qū)域中。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的分區(qū)曝光設(shè)備，其中，在所述交疊區(qū)域的中心處的照射強(qiáng)度的總和是恒定的，并且當(dāng)所述位置以1mm的增量移動(dòng)時(shí)，所述掃描中的掃描1的照射強(qiáng)度以1％的增量增加，同時(shí)所述掃描中與掃描1交疊的掃描2的照射強(qiáng)度以1％的減少量減小。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的分區(qū)曝光設(shè)備，其中，在所述交疊區(qū)域的邊緣處，當(dāng)所述位置以3mm的增量移動(dòng)時(shí)，掃描1的照射強(qiáng)度以1％的增量增加，同時(shí)掃描2的照射強(qiáng)度以1％的減少量減小。

9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的分區(qū)曝光設(shè)備，其中，當(dāng)所述位置以1mm的增量在1mm至3mm的范圍內(nèi)移動(dòng)時(shí)，掃描1的照射強(qiáng)度以1.0％的增量從0.0％增加至2.0％；當(dāng)所述位置在3mm至4mm的范圍內(nèi)移動(dòng)時(shí)，掃描1的照射強(qiáng)度以1.5％的增量從2.0％增加至3.5％；當(dāng)所述位置以1mm的增量在4mm至10mm的范圍內(nèi)移動(dòng)時(shí)，掃描1的照射強(qiáng)度以2.0％的增量從3.5％增加至15.5％；當(dāng)所述位置以1mm的增量在10mm至12mm的范圍內(nèi)移動(dòng)時(shí)，以2.5％的增量從15.5％增加至20.5％；當(dāng)所述位置在12mm至13mm的范圍內(nèi)移動(dòng)時(shí)，掃描1的照射強(qiáng)度以3.0％的增量從20.5％增加至23.5％；當(dāng)所述位置以1mm的增量在13mm至15mm的范圍內(nèi)移動(dòng)時(shí)，掃描1的照射強(qiáng)度以2.5％的增量從23.5％增加至28.5％；當(dāng)所述位置以1mm的增量在15mm至20mm的范圍內(nèi)移動(dòng)時(shí)，掃描1的照射強(qiáng)度以2.0％的增量從28.5％增加至38.5％；并且當(dāng)所述位置在20mm至21mm的范圍內(nèi)移動(dòng)時(shí)，掃描1的照射強(qiáng)度以1.5％的增量從38.5％增加至40.0％。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的分區(qū)曝光設(shè)備，其中，當(dāng)所述位置以1mm的增量在1mm至21mm的范圍內(nèi)移動(dòng)時(shí)，掃描2的照射強(qiáng)度以1.0％的減少量從100.0％降低至80.0％。

11.根據(jù)權(quán)利要求1所述的分區(qū)曝光設(shè)備，其中，在所述交疊區(qū)域的邊緣處的照射強(qiáng)度的總和在100％至120％的范圍內(nèi)具有直線(xiàn)形狀或有拐點(diǎn)的3點(diǎn)曲線(xiàn)的形狀。

12.根據(jù)權(quán)利要求1所述的分區(qū)曝光設(shè)備，其中，對(duì)于不同掃描的不同照射強(qiáng)度，所述交疊區(qū)域被劃分為1-1區(qū)域、1-2區(qū)域、1-3區(qū)域和第二區(qū)域，并且所述1-1、1-2、1-3和所述第二區(qū)域是具有不同斜率的直線(xiàn)。