[發明專利]一種探測器串音測試裝置、其制作方法及串音測試方法

在審

• 申請號: 201710287481.2
• 申請日: 2017-04-27
• 公開（公告）號: CN107271042A
• 公開（公告）日: 2017-10-20
• 發明（設計）人: 侯治錦;司俊杰;王巍;魯正雄
• 申請（專利權）人: 中國空空導彈研究院
• 主分類號: G01J5/00
• 分類號: G01J5/00
• 代理公司: 鄭州睿信知識產權代理有限公司41119
• 代理人: 陳浩

1.一種探測器串音測試裝置的制作方法，其特征在于，步驟如下：

1)利用光刻工藝在基片上制作至少一個最小單元圖形，所述最小單元圖形包括中心探測單元和設置在中心探測單元周圍的外圍探測單元；

2)對所述最小單元圖形的外圍探測單元鍍不透光層，以使外圍探測單元為不透光，中心探測單元為透光，以形成探測器串音測試裝置。

2.一種探測器串音測試裝置的制作方法，其特征在于，步驟如下：

在基片上制作不透光層，利用激光或飛秒激光在所述不透光層上制作至少一個最小單元圖形，所述最小單元圖形包括中心探測單元和設置在中心探測單元周圍的外圍探測單元，使所述最小單元圖形的中心探測單元為透光的，外圍探測單元為不透光的，以形成探測器串音測試裝置。

3.一種探測器串音測試方法，其特征在于，包括如下步驟：

(1)在基片上制作探測器串音測試裝置；

(2)將制作好的探測器串音測試裝置放置在焦平面探測器的前面，使所述測試裝置的中心探測單元與焦平面探測器的光敏元對準；

(3)采用黑體測試，根據各光敏元的電壓響應值計算焦平面探測器的串音。

4.根據權利要求3所述的探測器串音測試方法，其特征在于，所述探測器串音測試裝置的制作步驟為：利用光刻工藝在基片上制作至少一個最小單元圖形，所述最小單元圖形包括中心探測單元和設置在中心探測單元周圍的外圍探測單元；對所述最小單元圖形的外圍探測單元鍍不透光層，以使外圍探測單元為不透光，中心探測單元為透光，以形成探測器串音測試裝置。

5.根據權利要求3所述的探測器串音測試方法，其特征在于，所述探測器串音測試裝置的制作步驟為：在基片上制作不透光層，利用激光或飛秒激光在所述不透光層上制作至少一個最小單元圖形，所述最小單元圖形中心探測單元和設置在中心探測單元周圍的外圍探測單元，使所述最小單元圖形的中心探測單元為透光的，外圍探測單元為不透光的，以形成探測器串音測試裝置。

6.一種探測器串音測試裝置，其特征在于，包括在基片上制作的至少一個最小單元圖形，所述最小單元圖形包括中心探測單元和設置在中心探測單元周圍的外圍探測單元，所述中心探測單元為全透光，所述外圍探測單元鍍有不透光層。

7.根據權利要求6所述的探測器串音測試裝置，其特征在于，各最小單元圖形按照設定的結構重復排列。

8.根據權利要求6或7所述的探測器串音測試裝置，其特征在于，所述最小單元圖形包括中心探測單元和中心探測單元周圍兩圈的8個外圍探測單元。

9.根據權利要求6或7所述的探測器串音測試裝置，其特征在于，所述最小單元圖形包括中心探測單元和中心探測單元周圍兩圈的24個外圍探測單元。

10.根據權利要求6所述的探測器串音測試裝置，其特征在于，所述不透光層是通過真空鍍膜機在所述基片上鍍不透光膜或在所述基片背面涂黑漆實現的。