[發(fā)明專(zhuān)利]接觸探針、半導(dǎo)體元件試驗(yàn)裝置及半導(dǎo)體元件試驗(yàn)方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201710286564.X
• 申請(qǐng)日: 2017-04-27
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN107505485B
• 公開(kāi)（公告）日: 2020-07-31
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 吉田滿
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 富士電機(jī)株式會(huì)社
• 主分類(lèi)號(hào): G01R1/073
• 分類(lèi)號(hào): G01R1/073
• 代理公司: 上海專(zhuān)利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 31100
• 代理人: 張?chǎng)?/td>

1.一種半導(dǎo)體元件試驗(yàn)裝置，其特征在于，包括：

試驗(yàn)臺(tái)，該試驗(yàn)臺(tái)載放有半導(dǎo)體元件；

多個(gè)接觸探針，在進(jìn)行所述半導(dǎo)體元件試驗(yàn)時(shí)，該多個(gè)接觸探針與載放在所述試驗(yàn)臺(tái)上的所述半導(dǎo)體元件的主電極接觸；

多個(gè)柱塞銷(xiāo)，在進(jìn)行所述半導(dǎo)體元件試驗(yàn)時(shí)，該多個(gè)柱塞銷(xiāo)與所述接觸探針接觸，并且將所述接觸探針向所述半導(dǎo)體元件的所述主電極按壓；

放置盤(pán)，在不進(jìn)行所述半導(dǎo)體元件試驗(yàn)時(shí)，該放置盤(pán)抬起所述接觸探針，使該接觸探針保持在與所述半導(dǎo)體元件的所述主電極分離的位置，在進(jìn)行所述半導(dǎo)體元件試驗(yàn)時(shí)，該放置盤(pán)使所述接觸探針利用自重載放在所述半導(dǎo)體元件的所述主電極的規(guī)定位置；以及

底座單元，在不進(jìn)行所述半導(dǎo)體元件試驗(yàn)時(shí)，該底座單元使所述柱塞銷(xiāo)保持在與所述接觸探針?lè)蛛x的位置，在進(jìn)行所述半導(dǎo)體元件試驗(yàn)時(shí)，該底座單元使所述柱塞銷(xiāo)接觸并按壓載放在所述半導(dǎo)體元件的所述主電極上的所述接觸探針，

所述接觸探針具有：棱柱狀的主體，該主體具有與多個(gè)所述柱塞銷(xiāo)接觸的第1接觸面，和在與所述第1接觸面相反的一側(cè)、與所述半導(dǎo)體元件的所述主電極接觸的第2接觸面；以及突出部，該突出部突出地設(shè)置在所述第1接觸面的中央，并被所述柱塞銷(xiāo)中配置于中央的中央柱塞銷(xiāo)以高負(fù)荷按壓上表面，所述第1接觸面的位于所述突出部周?chē)纳媳砻媸潜慌渲糜谒鲋醒胫N(xiāo)周邊的多個(gè)周邊柱塞銷(xiāo)按壓的低負(fù)荷按壓面。

2.如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體元件試驗(yàn)裝置，其特征在于，

所述放置盤(pán)具有貫通孔，所述接觸探針被松動(dòng)地嵌入該貫通孔；

所述接觸探針在所述第1接觸面一側(cè)的周邊部具有凸緣部，該凸緣部防止所述接觸探針從所述貫通孔脫落。

3.如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體元件試驗(yàn)裝置，其特征在于，

所述接觸探針在所述第2接觸面上形成槽。

4.如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體元件試驗(yàn)裝置，其特征在于，

所述放置盤(pán)裝卸自由地安裝在能相對(duì)于所述試驗(yàn)臺(tái)升降的所述底座單元上。

5.一種半導(dǎo)體元件試驗(yàn)方法，對(duì)半導(dǎo)體元件的電氣特性進(jìn)行評(píng)價(jià)，該半導(dǎo)體元件試驗(yàn)方法具有以下步驟：

使多個(gè)接觸探針利用自重載放在所述半導(dǎo)體元件的主電極上，該多個(gè)接觸探針在棱柱狀主體的與多個(gè)柱塞銷(xiāo)接觸的一側(cè)的接觸面的中央分別具有突出部；

分別使所述柱塞銷(xiāo)中配置于中央的中央柱塞銷(xiāo)與所述接觸探針的所述突出部抵接，保持所述接觸探針和所述半導(dǎo)體元件的主電極的平行度；以及

在各個(gè)所述接觸探針上，增加所述中央柱塞銷(xiāo)與所述突出部抵接時(shí)的負(fù)荷，并且使配置于所述中央柱塞銷(xiāo)周邊的多個(gè)周邊柱塞銷(xiāo)與所述突出部周?chē)慕佑|面以比所述中央柱塞銷(xiāo)要低的負(fù)荷抵接。

6.如權(quán)利要求5所述的半導(dǎo)體元件試驗(yàn)方法，其特征在于，

所述柱塞銷(xiāo)具有負(fù)荷相同的彈簧，根據(jù)所述突出部從所述接觸面突出的突出量，對(duì)施加于所述突出部的負(fù)荷和施加于所述突出部周?chē)乃鼋佑|面的負(fù)荷的差進(jìn)行設(shè)定。