[發明專利]一種微型疊層片式元器件的制造方法有效
| 申請號: | 201710284266.7 | 申請日: | 2017-04-26 |
| 公開(公告)號: | CN107123540B | 公開(公告)日: | 2018-06-29 |
| 發明(設計)人: | 沈奇杰;李有云;戴正立;王帥;李青;陸胥龍;汪林明;汪嘉;蔡凱;馮國精 | 申請(專利權)人: | 貴陽順絡迅達電子有限公司 |
| 主分類號: | H01F41/04 | 分類號: | H01F41/04;H01P11/00 |
| 代理公司: | 貴陽中新專利商標事務所 52100 | 代理人: | 胡緒東 |
| 地址: | 550014 貴州省貴陽市白*** | 國省代碼: | 貴州;52 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 疊層片式元器件 印刷 沖洗 曝光 內電極 元器件 線條 制造 圖案 大小控制 光敏陶瓷 光敏銀漿 胚體成型 設計空間 印刷漿料 電鍍 燒結 漿料層 上基板 微型的 下基板 引出線 烘烤 倒角 端銀 發泡 光敏 排膠 燒銀 制漿 生產工藝 成型 切割 清晰 重復 | ||
1.一種微型疊層片式元器件的制造方法,其特征在于:該方法包括以下步驟:
(1)制漿:制備元器件使用的光敏陶瓷印刷漿料,制備光敏印刷銀漿,制備光敏Mark印刷漿料;
(2)印刷:在承載板整個表面上印刷光敏Mark漿料層;
(3)曝光沖洗:采用設計好的鉻版菲林對Mark漿料層進行曝光和沖洗,保留設計的Mark圖案;
(4)印刷:用光敏陶瓷印刷漿料在曝光好Mark圖案承載板上印刷設定厚度的下基板;
(5)印刷:在下基板上印刷整個表面的銀漿層;
(6)曝光沖洗:采用鉻版菲林對大面積的銀漿層進行曝光和沖洗,去掉不需要的銀層,留下構成內電極的銀層線條或圖案;
(7)印刷:在曝光好的銀層上印刷光敏陶瓷的介質層;
(8)曝光沖洗:采用設計好的鉻版菲林對光敏陶瓷的介質層進行曝光和沖洗,對介質層進行通孔,實現上下層的內電極圖案的連接導通;
(9)重復(5)~(8)的步驟,直到滿足內部結構設計要求為止;
(10)印刷:印刷設定厚度的上基板完成胚體成型;
(11)烘烤:成型的胚體進行烘烤;
(12)切割:胚體貼在熱敏膠上進行對位切割;
(13)發泡:將切割完成的生胚產品在熱敏膠上進行烘烤發泡分離;
(14)排膠:把生坯產品裝匣缽,放置排膠爐使用合適的排膠溫度曲線對生坯進行排膠,把生坯內含的有機物進行燃燒和排放;
(15)燒結:排膠完成后的生坯放置燒結爐880-920℃進行燒結;
(16)引出線處理:對燒結后產品的引出端面進行引出線的處理;
(17)倒角:把燒結噴砂后產品的邊和角倒成設定角度的圓弧;
(18)端銀:對需要引出的輸出/輸入端、接地端的端面用銀漿進行封端處理;
(19)燒銀:用銀漿封端后的產品進行銀的燒附;
(20)電鍍:將封端后的產品進行電鍍鎳層和錫層,實現產品的貼片焊錫功能,元器件的制造完成。
2.根據權利要求1所述的一種微型疊層片式元器件的制造方法,其特征在于:光敏陶瓷漿料包括以下重量百分比的成分:
陶瓷粉:50%~70%
乙基纖維素:10%~20%
三乙醇胺:5%~10%
鄰苯二甲酸二丁酯:5%~10%
消泡劑:0.5%~2%
流平劑:1%~3%
感光劑:1%~5%,由上述各成分制得光敏陶瓷漿料。
3.根據權利要求1所述的一種微型疊層片式元器件的制造方法,其特征在于:光敏印刷銀漿包括以下重量百分比的成分:
銀粉:50%~70%
乙基纖維素:10%~20%
三乙醇胺:5%~10%
鄰苯二甲酸二丁酯:5%~10%
消泡劑:0.5%~2%
流平劑:1%~3%
感光劑:1%~5%,由上述各成分制得光敏印刷銀漿。
4.根據權利要求1所述的一種微型疊層片式元器件的制造方法,其特征在于:光敏mark印刷漿料包括以下重量百分比的成分:
Mark粉:50%~70%
乙基纖維素:10%~20%
三乙醇胺:5%~10%
鄰苯二甲酸二丁酯:5%~10%
消泡劑:0.5%~2%
流平劑:1%~3%
感光劑:1%~5%,由上述各成分制得光敏mark印刷漿料。
5.根據權利要求1所述的一種微型疊層片式元器件的制造方法,其特征于:在黃光的環境下進行漿料的印刷、曝光顯影、沖洗成型。
6.根據權利要求1所述的一種微型疊層片式元器件的制造方法,其特征在于:步驟(16)中引出線處理:對元器件的側面引出端面進行噴砂。
7.根據權利要求1所述的一種微型疊層片式元器件的制造方法,其特征在于:噴砂的具體實施步驟:使用全自動噴砂機對100~2000目的金剛砂進行加壓噴出,形成高壓、快速的砂流,砂流噴向元器件引出端面,砂流與端面產生了快速的撞擊和摩擦,擊碎并摩擦帶走引出端面上浮的玻璃層,使端面上的引出線不被玻璃層覆蓋,更好的與端電極銜接。
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