[發(fā)明專利]通過式片盒片架清洗設(shè)備

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201710283584.1
• 申請(qǐng)日: 2017-04-26
• 公開（公告）號(hào): CN108554880A
• 公開（公告）日: 2018-09-21
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王飛
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 上海旭熠電子技術(shù)有限公司
• 主分類號(hào): B08B3/02
• 分類號(hào): B08B3/02;B08B13/00;F26B15/00;F26B21/00
• 代理公司: 上海東亞專利商標(biāo)代理有限公司 31208
• 代理人: 董梅

本發(fā)明涉及一種通過式搖擺干燥片盒/片架清洗設(shè)備，可用于半導(dǎo)體、太陽能和LED等行業(yè)內(nèi)對(duì)片盒/片架清洗干燥，將片盒/片架放置在承載母籃內(nèi)，由電氣控制器控制清洗、干燥過程，包括了外殼、水清洗結(jié)構(gòu)和氣體干燥結(jié)構(gòu)，由進(jìn)料結(jié)構(gòu)、清洗腔、干燥腔、出料結(jié)構(gòu)依序組裝在一起，形成設(shè)備的主體部分，在設(shè)備主體部分內(nèi)部安裝有輸送機(jī)構(gòu)、水路系統(tǒng)、氣路系統(tǒng)和電氣控制器。本發(fā)明通過外殼、進(jìn)料結(jié)構(gòu)、自動(dòng)密封門、清洗腔、干燥腔、出料結(jié)構(gòu)、輸送機(jī)構(gòu)、片盒/片架承載母籃、水路系統(tǒng)、氣路系統(tǒng)和電氣控制部分相互之間配合，形成一個(gè)自動(dòng)化程度高的整體設(shè)備。滿足半導(dǎo)體、太陽能和LED等行業(yè)對(duì)片盒/片架清洗的高效、潔凈的要求。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種通過式片盒片架清洗設(shè)備，用于半導(dǎo)體、太陽能和LED等行業(yè)內(nèi)片盒/片架的清洗干燥領(lǐng)域，以有效去除表面附著的顆粒和有機(jī)物，并做到片盒、片架干進(jìn)干出。

背景技術(shù)

在目前半導(dǎo)體、太陽能和LED等行業(yè)中對(duì)于使用后的硅片承載的片盒/片架一般采用的是人工方式清洗，即片盒/片架放置于有含有表面活性劑的超聲波水槽中，浸泡一段時(shí)間后再用純水沖洗，最后用氣槍將殘留的水沖干。這種方式的效率是非常低的，耗時(shí)耗人工。

如申請(qǐng)?zhí)枺?01410144428.3涉及一種拋光片載片盒的清洗工藝，它包括以下步驟：在清洗槽內(nèi)放入純水并加入親水性有機(jī)溶劑，得到清洗液，將載片盒浸沒在清洗槽內(nèi)的清洗液中浸泡后取出；用純水對(duì)取出的載片盒進(jìn)行沖洗，直至載片盒表面無明顯清洗劑泡沫為止；將沖洗好的載片盒放入清洗架，再將裝好載片盒的清洗架放入超聲波清洗機(jī)的清洗槽內(nèi)進(jìn)行超聲波清洗，超聲波清洗完成后取出載片盒；使用無塵布蘸拭酒精對(duì)載片盒表面進(jìn)行擦拭；使用氣槍噴出氣體對(duì)載片盒進(jìn)行吹噴干燥；最后將干燥后的載片盒運(yùn)至潔凈室或凈化工作臺(tái)待用。采用發(fā)明工藝經(jīng)過清洗后的載片盒可替代高潔凈度的載片盒，不僅省去了高潔凈度輔料的成本，而且加強(qiáng)了拋光片表面顆粒的控制。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明目的在于：提供一種通過式片盒片架清洗設(shè)備，以解決片盒/片架清洗干燥過程中的耗時(shí)耗人工問題，提高清洗效率，減少人為因素的干擾。

通過下述技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)發(fā)明目的：一種通過式片盒片架清洗設(shè)備，用于半導(dǎo)體、太陽能和LED等行業(yè)內(nèi)對(duì)片盒/片架清洗干燥，將片盒/片架放置在承載母籃內(nèi)，由電氣控制器控制清洗、干燥過程，包括了外殼、水清洗結(jié)構(gòu)和氣體干燥結(jié)構(gòu)，所述的進(jìn)料結(jié)構(gòu)、清洗腔、干燥腔、出料結(jié)構(gòu)依序組裝在一起，形成設(shè)備的主體部分，在設(shè)備主體部分內(nèi)部安裝有輸送機(jī)構(gòu)、水路系統(tǒng)、氣路系統(tǒng)和電氣控制器，所述的輸送機(jī)構(gòu)二端分別連接進(jìn)料結(jié)構(gòu)和出料結(jié)構(gòu)，中間貫通清洗腔、干燥腔，所述的承載母籃經(jīng)進(jìn)料結(jié)構(gòu)被放置在輸送機(jī)構(gòu)上，清洗、干燥后被送至出料結(jié)構(gòu)上，所述的清洗腔和干燥腔設(shè)在外殼內(nèi)，所述的外殼為封閉結(jié)構(gòu)，在清洗腔進(jìn)口、清洗腔與干燥腔之間及干燥腔的出口均設(shè)密封門一、二、三和位置傳感器；所述的水清洗結(jié)構(gòu)，包括清洗腔、水清洗結(jié)構(gòu)的執(zhí)行機(jī)構(gòu)，設(shè)在清洗腔內(nèi)與水路系統(tǒng)連通的高壓噴淋設(shè)備由該執(zhí)行機(jī)構(gòu)控制操作，通過高壓噴淋設(shè)備清洗片盒/片架；所述的氣體干燥結(jié)構(gòu)，包括干燥腔和氣體干燥結(jié)構(gòu)的執(zhí)行機(jī)構(gòu)，設(shè)在干燥腔內(nèi)與氣路系統(tǒng)連通的耐溫壓力噴嘴由該執(zhí)行機(jī)構(gòu)控制操作，承載母籃隨著輸送機(jī)構(gòu)在干燥腔內(nèi)往復(fù)運(yùn)動(dòng)，采用噴氣吹掃干燥片盒/片架，實(shí)現(xiàn)噴嘴無死角的吹掃，直至完全干燥；承載母籃隨輸送機(jī)構(gòu)通過出料端密封門三時(shí)，安裝在此的除靜電裝置被打開，以消除高溫干燥給承載母籃上帶來的靜電；除靜電的片盒/片架隨著承載母籃被輸送至出料結(jié)構(gòu)上。

本發(fā)明由電氣控制器控制各個(gè)運(yùn)動(dòng)部件和傳感器，通過外殼、進(jìn)料結(jié)構(gòu)、自動(dòng)密封門、清洗腔、干燥腔、出料結(jié)構(gòu)、輸送機(jī)構(gòu)、片盒/片架承載母籃、水路系統(tǒng)、氣路系統(tǒng)和電氣控制部分相互之間配合，形成一個(gè)自動(dòng)化程度高的整體設(shè)備。滿足半導(dǎo)體、太陽能和LED等行業(yè)對(duì)片盒/片架清洗的高效、潔凈的要求。可實(shí)現(xiàn)片盒/片架的手動(dòng)或自動(dòng)清洗、干燥的全過程的連續(xù)化，如前一批次清洗的片盒/片架在干燥腔內(nèi)進(jìn)行干燥，后一批的片盒/片架在清洗腔內(nèi)進(jìn)行清洗，實(shí)現(xiàn)整個(gè)生產(chǎn)過程連續(xù)化。保證片盒/片架的干進(jìn)、干出，提高清洗效率，減少人為因素的干擾。