[發(fā)明專利]真空排水裝置

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201710281447.4
• 申請(qǐng)日: 2017-04-26
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN108807137A
• 公開(kāi)（公告）日: 2018-11-13
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 謝晶偉;劉豫東;劉雅茹;邊曉東;劉玉倩;高榮榮
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 北京半導(dǎo)體專用設(shè)備研究所（中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第四十五研究所）
• 主分類號(hào): H01L21/02
• 分類號(hào): H01L21/02;H01L21/67;H01L21/683
• 代理公司: 北京中建聯(lián)合知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11004
• 代理人: 朱麗巖;葉民生

1.一種真空排水裝置，包括氣源（14）以及傳統(tǒng)濕法清洗設(shè)備中的陶瓷吸盤（15），其特征在于：所述氣源（14）出口分為兩路，一路通過(guò)PFA軟管依次連接正壓隔膜閥（10）、真空發(fā)生器（9）、負(fù)壓隔膜閥（8）、過(guò)濾器（7）、單向活門（6）以及陶瓷吸盤（15），另一路通過(guò)PFA軟管與過(guò)濾減壓閥（1）連接，所述過(guò)濾器（7）還連接排液隔膜閥（4），所述單向活門（6）與陶瓷吸盤（15）之間的真空管路上設(shè)有帶壓力傳感器的壓力表（5）；所述過(guò)濾減壓閥（1）的出口分為兩路，一路通過(guò)PFA軟管與真空電磁閥（2）的進(jìn)氣接頭連接，另一路與排水電磁閥（3）的進(jìn)氣接頭連接，所述真空電磁閥（2）的出氣口分為兩路，一路與正壓隔膜閥（10）受控端連接，另一路與負(fù)壓隔膜閥（8）受控端連接，所述排水電磁閥（3）的出氣口分為兩路，一路與排液隔膜閥（4）的受控端連接，另一路與負(fù)壓隔膜閥（8）和過(guò)濾器（7）之間的真空管路連接。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空排水裝置，其特征在于：所述過(guò)濾器（7）上設(shè)有高液位傳感器（11）、低液位傳感器（12）和排放口（13），所述排放口（13）連接排液隔膜閥（4），所述過(guò)濾器（7）上的高液位傳感器（11）、低液位傳感器（12）以及帶壓力傳感器的壓力表（5）均與程控系統(tǒng)有線連接，所述真空電磁閥（2）和排水電磁閥（3）均與程控系統(tǒng)有線連接，且工作狀態(tài)互為相反。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的真空排水裝置，其特征在于：所述真空電磁閥（2）在通電狀態(tài)下排水電磁閥電磁（3）處在斷電狀態(tài)，真空電磁閥（2）在斷電狀態(tài)下排水電磁閥電磁（3）處在通電狀態(tài)，所述真空電磁閥（2）在通電狀態(tài)下，正壓隔膜閥（10）和負(fù)壓隔膜閥（8）處在打開(kāi)狀態(tài)，真空電磁閥（2）處在斷電狀態(tài)下，正壓隔膜閥（10）和負(fù)壓隔膜閥（8）處在關(guān)閉狀態(tài)，所述排水電磁閥（3）在通電狀態(tài)下，排液隔膜閥（4）處在打開(kāi)狀態(tài)，過(guò)濾器（7）處在正壓狀態(tài)，排水電磁閥（3）在斷電狀態(tài)下，排液隔膜閥（4）處在關(guān)閉狀態(tài)。