[發(fā)明專利]產(chǎn)生源分析裝置及產(chǎn)生源分析方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201710281182.8
• 申請日: 2017-04-26
• 公開（公告）號: CN107340209B
• 公開（公告）日: 2021-12-24
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 武田直希;長谷川祥樹;小泉和裕;李波
• 申請（專利權(quán)）人: 富士電機株式會社
• 主分類號: G01N15/06
• 分類號: G01N15/06
• 代理公司: 上海專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 31100
• 代理人: 周全

1.一種產(chǎn)生源分析裝置，其包含：

獲取部，其獲取含對象成分的氣體的濃度測定值和與所述氣體相關(guān)聯(lián)地產(chǎn)生的粒子成分的濃度測定值；以及

分析部，其根據(jù)所述氣體的濃度測定值與所述粒子成分的濃度測定值，通過基于所述氣體的濃度測定值和所述粒子成分的濃度測定值的大小比較、比率、差分、時間序列數(shù)據(jù)的相關(guān)值中的任一種方法，來分析從測定地點到所述對象成分的產(chǎn)生源的距離。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的產(chǎn)生源分析裝置，其特征在于，所述獲取部獲得生成所述粒子成分的原料即前驅(qū)氣體的濃度測定值與由所述前驅(qū)氣體生成的二次生成粒子成分的濃度測定值。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的產(chǎn)生源分析裝置，其特征在于，所述分析部在所述前驅(qū)氣體的濃度測定值比預(yù)設(shè)值高且所述二次生成粒子成分的濃度測定值比第1閾值低時推斷到至少一個產(chǎn)生源的所述距離比基準(zhǔn)距離近。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的產(chǎn)生源分析裝置，其特征在于，所述分析部在所述二次生成粒子成分的濃度測定值比預(yù)設(shè)值高且所述前驅(qū)氣體的濃度測定值比第2閾值低時推斷到最近的產(chǎn)生源的所述距離比基準(zhǔn)距離遠(yuǎn)。

5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的產(chǎn)生源分析裝置，其特征在于，所述獲取部以與所述前驅(qū)氣體及所述粒子成分的濃度測定值相關(guān)聯(lián)的方式獲取風(fēng)速數(shù)據(jù)，

所述分析部具有基準(zhǔn)距離設(shè)定部，且與所述濃度測定值相關(guān)聯(lián)的風(fēng)速值越大，所述基準(zhǔn)距離設(shè)定部將所述基準(zhǔn)距離設(shè)定得越長。

6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的產(chǎn)生源分析裝置，其特征在于，所述分析部具有計算部，其根據(jù)所述前驅(qū)氣體的濃度測定值來計算能從所述前驅(qū)氣體中產(chǎn)生的二次生成粒子成分的平衡狀態(tài)濃度，

所述分析部根據(jù)算出的所述平衡狀態(tài)濃度與所述二次生成粒子成分的濃度測定值來分析到所述產(chǎn)生源的距離。

7.根據(jù)權(quán)利要求4所述的產(chǎn)生源分析裝置，其特征在于，所述獲取部以與所述前驅(qū)氣體及所述粒子成分的濃度測定值相關(guān)聯(lián)的方式獲取風(fēng)速數(shù)據(jù)，

所述分析部具有基準(zhǔn)距離設(shè)定部，且與所述濃度測定值相關(guān)聯(lián)的風(fēng)速值越大，所述基準(zhǔn)距離設(shè)定部將所述基準(zhǔn)距離設(shè)定得越長。

8.根據(jù)權(quán)利要求2至7中任一項所述的產(chǎn)生源分析裝置，其特征在于，所述獲取部獲取多種所述前驅(qū)氣體的每一種的所述濃度測定值以及由每種所述前驅(qū)氣體產(chǎn)生的每種所述二次生成粒子成分的所述濃度測定值，

所述分析部分析每種所述前驅(qū)氣體到產(chǎn)生源的距離。

9.根據(jù)權(quán)利要求2所述的產(chǎn)生源分析裝置，其特征在于，所述獲取部分別獲取時間序列數(shù)據(jù)作為所述前驅(qū)氣體的濃度測定值與所述粒子成分的濃度測定值，

所述分析部根據(jù)所述前驅(qū)氣體的濃度測定值的時間序列數(shù)據(jù)與所述粒子成分的濃度測定值的時間序列數(shù)據(jù)的相關(guān)值來分析到所述產(chǎn)生源的距離。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的產(chǎn)生源分析裝置，其特征在于，所述分析部根據(jù)所述前驅(qū)氣體的濃度測定值的時間序列數(shù)據(jù)中的第1時間范圍的數(shù)據(jù)與所述粒子成分的濃度測定值的時間序列數(shù)據(jù)中的與所述第1時間范圍相比有所延遲的第2時間范圍的數(shù)據(jù)的相關(guān)值來分析到所述產(chǎn)生源的距離。

11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的產(chǎn)生源分析裝置，其特征在于，所述獲取部以與所述前驅(qū)氣體及所述粒子成分的濃度測定值相關(guān)聯(lián)的方式獲取風(fēng)速數(shù)據(jù)，

所述分析部具有延遲時間設(shè)定部，其根據(jù)所述風(fēng)速數(shù)據(jù)來設(shè)定所述第2時間范圍相對于所述第1時間范圍的延遲時間。

12.根據(jù)權(quán)利要求9至11中任一項所述的產(chǎn)生源分析裝置，其特征在于，當(dāng)所述粒子成分的濃度測定值與所述前驅(qū)氣體的濃度測定值中的至少一個在預(yù)設(shè)的下限值以上、且所述粒子成分的濃度測定值的時間序列數(shù)據(jù)與所述前驅(qū)氣體的濃度測定值的時間序列數(shù)據(jù)的相關(guān)值比預(yù)設(shè)的基準(zhǔn)高時，所述分析部會推斷到至少一個所述產(chǎn)生源的所述距離比預(yù)設(shè)的基準(zhǔn)距離近。