[發明專利]成膜速率檢測模組、成膜設備、成膜速率檢測方法

有效

• 申請號: 201710277788.4
• 申請日: 2017-04-25
• 公開（公告）號: CN107017177B
• 公開（公告）日: 2019-06-07
• 發明（設計）人: 蔣國;劉洋;尚躍東;李建;楊樂;劉金偉
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司;成都京東方光電科技有限公司
• 主分類號: H01L21/66
• 分類號: H01L21/66;C23C14/24
• 代理公司: 北京天昊聯合知識產權代理有限公司 11112
• 代理人: 柴亮;張天舒

1.一種成膜速率檢測模組，其特征在于，包括：

多個主傳感器，其用于檢測其上形成薄膜的速率；

遮蔽各主傳感器且具有主開口的主擋板，主擋板能運動以使主開口輪流對應每個主傳感器；

輔傳感器，其用于檢測其上形成薄膜的速率；

遮蔽輔傳感器且具有輔開口的輔擋板，輔擋板能周期運動，在周期運動過程中輔開口經過對應輔傳感器的位置，且輔開口面積與輔開口在一個運動周期中累積掃過面積的比為k，k小于等于1/n，n為主傳感器個數。

2.根據權利要求1所述的成膜速率檢測模組，其特征在于，

所述主擋板為帶有主開口的圓環形板，所述多個主傳感器沿圓環形板周向均勻分布。

3.根據權利要求1所述的成膜速率檢測模組，其特征在于，

所述輔擋板為有輔開口的圓形板，所述輔傳感器設于對應圓形板非圓心的位置。

4.根據權利要求1所述的成膜速率檢測模組，其特征在于，

所述主擋板為具有主開口的圓環形板，所述多個主傳感器沿圓環形板周向均勻分布；

所述輔擋板為有輔開口的圓形板，所述輔傳感器設于對應圓形板非圓心的位置；

所述圓形板同心的設于所述圓環形板內側。

5.根據權利要求4所述的成膜速率檢測模組，其特征在于，

所述圓形板的半徑等于圓環形板的內徑。

6.根據權利要求1所述的成膜速率檢測模組，其特征在于，

所述輔開口的面積等于其在一個運動周期中累積掃過的面積的1/n。

7.根據權利要求1所述的成膜速率檢測模組，其特征在于，還包括：

主驅動單元，用于驅動所述主擋板運動；

輔驅動單元，用于驅動所述輔擋板勻速的周期運動。

8.一種成膜設備，包括用于成膜的成膜腔室，其特征在于，

所述成膜腔室中設有權利要求1至7中任意一項所述的成膜速率檢測模組。

9.根據權利要求8所述的成膜設備，其特征在于，

所述成膜設備為蒸鍍設備。

10.一種成膜速率檢測方法，其特征在于，使用權利要求1至9中任意一項所述的成膜速率檢測模組進行，所述成膜速率檢測方法包括：

移動主擋板使主開口對應一個主傳感器，該主傳感器檢測得到主成膜速率；同時，使輔擋板勻速的周期運動，輔傳感器檢測得到輔成膜速率；

判斷所述輔成膜速與主成膜速率的比是否等于k，若不等則表示成膜速率檢測結果錯誤。