[發明專利]一種光路切換系統有效
| 申請號： | 201710277779.5 | 申請日： | 2017-04-25 |
| 公開（公告）號： | CN106996942B | 公開（公告）日： | 2019-08-13 |
| 發明（設計）人： | 劉吉山;沈大偉;劉萬領;向兀;樊聰聰;劉正太;張凱麗 | 申請（專利權）人： | 中國科學院上海微系統與信息技術研究所 |
| 主分類號： | G01N23/227 | 分類號： | G01N23/227 |
| 代理公司： | 上海光華專利事務所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 唐棉棉 |
| 地址： | 200050 *** | 國省代碼： | 上海;31 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 切換 系統 | ||
1.一種光路切換系統，其特征在于，所述光路切換系統至少包括：
真空管路；
設置在真空管路一端的樣品系統腔，用于放置待測樣品；
設置在所述真空管路上至少兩個光源光路腔，用于分別引入不同的光源，其中，每個光源光路腔配備有離子泵和真空閥門；
設置在所述真空管路上且位于所述樣品系統腔和所述光源光路腔之間的真空調節腔。
2.根據權利要求1所述的光路切換系統，其特征在于：所述光源光路腔中安裝有電動平移臺、高度調節平臺、電動鏡架以及光闌；
所述電動平移臺固定在所述高度調節平臺上；
所述電動鏡架固定在所述電動平移臺上，所述電動鏡架上安裝有反射鏡，
所述光闌安裝在所述高度調節平臺上，用于調節光路。
3.根據權利要求2所述的光路切換系統，其特征在于：所述電動平移臺通過螺絲固定在所述高度調節平臺上，所述電動鏡架通過螺絲固定在所述電動平移臺上。
4.根據權利要求1所述的光路切換系統，其特征在于：所述真空調節腔中安裝有光闌和活動的聚焦透鏡。
5.根據權利要求1所述的光路切換系統，其特征在于：所述樣品系統腔的光線入射口也具有真空閥門。
6.根據權利要求1所述的光路切換系統，其特征在于：所述樣品系統腔為角分辨光電子光譜儀。
7.根據權利要求1所述的光路切換系統，其特征在于：所述光源光路腔為兩個，一個定義為第一光源光路腔，所述第一光源光路腔中用于實現超短脈沖探測光和紅外泵浦光的共軸合束；另一個定義為第二光源光路腔，所述第二光源光路腔用作深紫外激光的光路調節。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于中國科學院上海微系統與信息技術研究所，未經中國科學院上海微系統與信息技術研究所許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作，請聯系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/201710277779.5/1.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
- 上一篇：一種無人機前攝像頭連接架
- 下一篇：一種無人機用攝像機安裝支架
