[發明專利]一種蒸發臺束斑遙控盒及其控制方法

在審

• 申請號: 201710276600.4
• 申請日: 2017-04-25
• 公開（公告）號: CN107267950A
• 公開（公告）日: 2017-10-20
• 發明（設計）人: 王紹權
• 申請（專利權）人: 蘇州同冠微電子有限公司
• 主分類號: C23C14/54
• 分類號: C23C14/54;C23C14/30;C23C14/52
• 代理公司: 北京中政聯科專利代理事務所(普通合伙)11489
• 代理人: 曹軍

1.一種蒸發臺束斑遙控盒，其特征在于：包括X方向調節旋鈕模塊、Y方向調節旋鈕模塊、功率調節旋鈕模塊、切換指示模塊，所述X方向調節旋鈕模塊、Y方向調節旋鈕模塊、功率調節旋鈕模塊、切換指示模塊分別與插排相連，所述X方向調節旋鈕模塊、Y方向調節旋鈕模塊、功率調節旋鈕模塊分別通過繼電器開關與可調電位器相連，所述切換指示模塊包括切換開關，所述切換開關一端與電源相連，另一端分別與X方向調節旋鈕模塊、Y方向調節旋鈕模塊、功率調節旋鈕模塊的繼電器線圈相連。

2.按照權利要求1所述的一種蒸發臺束斑遙控盒，其特征在于：所述電源為+5V電源。

3.按照權利要求1所述的一種蒸發臺束斑遙控盒，其特征在于：所述切換指示模塊還包括發光二極管，所述發光二極管一端與切換開關相連，另一端通過電阻接地。

4.按照權利要求1所述的一種蒸發臺束斑遙控盒，其特征在于：所述X方向調節旋鈕模塊中的繼電器為電流繼電器。

5.按照權利要求4所述的一種蒸發臺束斑遙控盒，其特征在于：所述電流繼電器的線圈反并聯有二極管。

6.按照權利要求1所述的一種蒸發臺束斑遙控盒，其特征在于：所述Y方向調節旋鈕模塊中的繼電器為電流繼電器。

7.按照權利要求6所述的一種蒸發臺束斑遙控盒，其特征在于：所述電流繼電器的線圈反并聯有二極管。

8.按照權利要求1所述的一種蒸發臺束斑遙控盒，其特征在于：所述功率調節旋鈕模塊中的繼電器為電流繼電器。

9.按照權利要求8所述的一種蒸發臺束斑遙控盒，其特征在于：所述電流繼電器的線圈反并聯有二極管。

10.如權利要求1所述的一種蒸發臺束斑遙控盒控制方法，其特征在于，包括以下步驟：

S1、首先操作人員撥動坩堝選擇開關，選擇正確的坩堝號，然后打開坩堝冷卻水，旋開觀察窗，打開高壓控制柜上的高壓開關和電流開關；

S2、根據束斑在坩堝中的位置偏離情況，通過手動調節遙控盒的X方向調節旋鈕、Y方向調節旋鈕，使束斑可以按預期的要求落在坩堝中心；

S3、束斑位置已經確認在坩堝中心，繼續緩慢調節遙控盒上的功率旋鈕，使高壓功率加大，功率要求以能夠將坩堝中心位置的金屬材料融化即可；

S4、坩堝中心的金屬已經融化后，再緩慢調節X方向調節旋鈕、Y方向調節旋鈕，使坩堝里面金屬材料的前后區域以及左右區域都能夠完全融化；

S5、當整個坩堝里面的金屬材料都已經完全融化，就反復用X方向調節旋鈕、Y方向調節旋鈕，前后左右來回往復的移動束斑位置，并通過微調遙控盒上的功率旋鈕保持高壓功率在剛好能夠將金屬融化的水平；根據金屬材料的不同，如上重復掃描3到5分鐘，金屬即可完全融透；

S6、金屬完全融透后，一個坩堝的融料工作就已經完成，先將電子束斑位置調整到坩堝中心，再將功率旋鈕旋到最小，最后先關閉高壓柜的電流開關，再關閉高壓開關；等待坩堝冷卻，冷卻完成后，再選擇另一個坩堝號，重復以上步驟，進行另一個坩堝的融料工作。