[發明專利]一種具有透明上電極的阻變單元及其導電細絲定位方法

有效

• 申請號: 201710274073.3
• 申請日: 2017-04-25
• 公開（公告）號: CN107195777B
• 公開（公告）日: 2019-04-02
• 發明（設計）人: 王小虎;吳華強;高濱;李辛毅;錢鶴
• 申請（專利權）人: 清華大學
• 主分類號: H01L45/00
• 分類號: H01L45/00;H01L21/68
• 代理公司: 北京清亦華知識產權代理事務所(普通合伙) 11201
• 代理人: 廖元秋

1.一種具有透明上電極的阻變單元的導電細絲定位方法，所述具有透明上電極的阻變單元，從下到上依次由下電極，絕緣介質層和上電極三部分構成，所述絕緣介質層內具有連接下電極和上電極的導電細絲，所述上電極材料為透明氧化銦錫；其特征在于，包括以下步驟：

1)對具有透明上電極的阻變單元絕緣介質層所采用的材料進行光譜測試分析，獲得該材料氧空位發光強度峰值所對應的發光波長；

2)采用紫外激光作為激發源，利用共聚焦顯微熒光系統中的顯微物鏡對紫外激光進行聚焦，通過聚焦后的紫外激光對具有透明上電極的阻變單元的上電極進行光致發光掃描，獲得上電極對應氧空位發光強度的二維圖像；

3)根據步驟2)獲取的圖像，讀取上電極內每一點的光譜，記錄在步驟1)確定的波長處每一點的發光強度，發光最強的位置即為導電細絲連接上電極的一端所在的位置，導電細絲定位完成。

2.如權利要求1所述的方法，其特征還包括，導電細絲定位完成后，對該阻變單元的導電細絲進行N次的通斷操作，20≤N≤50，操作完成后，重復步驟2)-步驟3)，更新該阻變單元中導電細絲連接上電極的一端所在位置的發光強度并進行判定：若發光強度的增加值小于首次進行導電細絲定位時導電細絲連接上電極的一端所在位置發光強度的50％，則代表導電細絲通斷正常，阻變單元處于工作狀態，繼續進行下一輪的N次通斷操作；若發光強度的增加值大于等于首次進行導電細絲定位時導電細絲連接上電極的一端所在位置發光強度的50％，則代表導電細絲無法斷開，阻變單元失效。