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[發明專利]一種新型測量離子束的法拉第裝置有效

專利信息
申請號: 201710273866.3 申請日: 2017-04-25
公開(公告)號: CN108732610B 公開(公告)日: 2020-12-25
發明(設計)人: 張喻召 申請(專利權)人: 北京中科信電子裝備有限公司
主分類號: G01T1/29 分類號: G01T1/29;H01J37/317;H01J37/32;H01J37/34
代理公司: 長沙正奇專利事務所有限責任公司 43113 代理人: 馬強
地址: 101111 北京市通*** 國省代碼: 北京;11
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 一種 新型 測量 離子束 法拉第 裝置
【權利要求書】:

1.一種新型測量離子束的法拉第裝置,包括:水平測束石墨杯(1)、豎直測束石墨杯(2)、法拉第腔體(3)、永磁體(4)、信號采集板(5)、支撐裝置(6)、水冷裝置(7),其特征在于:通過將長條型水平測束石墨杯(1)和豎直測束石墨杯(2)陣列在水平方向掃描,來測量等離子體束流的二維分布;采用二維法拉第陣列的方式,用來測量等離子體束流的二維分布,包括束流剖面形狀與密度分布等;所述豎直測束石墨杯(2)陣列排列為兩列,兩列中的豎直測束石墨杯(2)錯開設置。

2.如權利要求1所述的一種新型測量離子束的法拉第裝置,其特征在于:水平測束石墨杯口為長方形,數量為1個,豎直測束石墨杯杯口為正方形,數量為24個。

3.如權利要求1所述的一種新型測量離子束的法拉第裝置,其特征在于:在法拉第腔體(3)的石墨杯口位置有6個永磁體(4),在石墨杯口提供有一定強度的磁場,防止二次電子和其它離子對于法拉第測量值的干擾,保證測量值的準確性。

4.如權利要求1所述的一種新型測量離子束的法拉第裝置,其特征在于:通過一定厚度的信號采集板(5)將石墨杯采集到的電流信號導出,同時隔離石墨杯與腔體,保證有良好的絕緣效果。

5.如權利要求1所述的一種新型測量離子束的法拉第裝置,其特征在于:通過一定厚度的支持裝置(6)和冷卻裝置(7),提供法拉第在工作過程中進行流動水冷卻,保證其工作在合適溫度范圍內。

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