[發明專利]一種用于真空互聯掃描電鏡樣品托

在審

• 申請號: 201710273192.7
• 申請日: 2017-04-24
• 公開（公告）號: CN108735566A
• 公開（公告）日: 2018-11-02
• 發明（設計）人: 丁祥金;丁祥飛;阮穎華
• 申請（專利權）人: 上海磐穎實業有限公司
• 主分類號: H01J37/20
• 分類號: H01J37/20
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種用于真空互聯掃描電鏡樣品托，其特征在于：所述的一種用于真空互聯掃描電鏡的樣品托具有三層結構，頂層是樣品夾持層，中間層是彈簧預應力施加層，底層是樣品托安裝接口；頂層樣品夾持層相對于底層樣品托安裝接口，在施加外力克服了中間層預加彈簧應力引發的摩擦力后，可以做相對旋轉運動；在沒有外力作用下，樣品托頂層與底層在中間層彈簧預應力引發的摩擦力作用下形成一個整體，隨被安裝的掃面電鏡觀察臺移動、旋轉。

2.根據權利要求1所述的一種用于真空互聯掃描電鏡樣品托，其特征在于：所述的頂層樣品夾持層是由優選圓柱形結構的樣品托盤(5)、至少2個等距分布的樣品壓緊彈簧(3)、與樣品壓緊彈簧(3)數量相對應的徑向推桿(2)、與徑向推桿(2)數量相對應的徑向推桿固定座(4)、中心旋轉凸輪(1)、軸承(7)以及優選圓形結構的樣品托盤連接座(6)，通過螺絲(11)鎖緊構成；壓緊彈簧(3)通過螺絲(10)固定到徑向推桿(2)在樣品托盤(5)的樣品承載面(5-2)的一端上，壓緊彈簧(3)根據樣品壓緊力的需要可以獨立調節。

3.根據權利要求1和權利要求2所述的一種用于真空互聯掃描電鏡樣品托，其特征在于：所述的樣品托盤(5)上除具有樣品承載面(5-2)外，還具有與徑向推桿(2)的徑向導軌(2-1)結構相配的徑向導槽(5-1)，以及樣品托固定卡位(5-3)；徑向推桿(2)通過樣品托盤(5)上的徑向導槽(5-1)，插入徑向推桿固定座(4)的過孔(4-1)，中間安裝有回位彈簧(2-2)，用螺絲(11)將徑向推桿固定座(4)連接到樣品托盤(5)上；用螺絲(10)連接到徑向推桿(2)上的樣品壓緊彈簧(3)隨徑向推桿(2)在樣品托盤(5)的樣品承載面(5-2)上做徑向運動。

4.根據權利要求1和權利要求2所述的一種用于真空互聯掃描電鏡樣品托，其特征在于：所述的中心旋轉凸輪(1)是用中心軸通過軸承(7)固定到品托盤連接座(6)上，相對于同樣固定到樣品托盤連接座(6)上的樣品托盤(5)可以做旋轉運動；中心旋轉凸輪(1)的中心軸通過中間彈簧預應力施加層，優選波形彈簧(8)，與底層樣品托安裝接口(9)的中心孔(9-1)的上部過盈配合，使真空互聯掃描電鏡樣品托的上、中、下三層連成一體。

5.根據權利要求1、權利要求2和權利要求4所述的一種用于真空互聯掃描電鏡樣品托，其特征在于：所述的中心旋轉凸輪(1)具有連續光滑過渡、間隔分布的凸出點和凹入點，凸出點與凹入點的數目相同，與徑向推桿(2)在樣品托盤(5)上的分布數相配，并與徑向推桿(2)的頂端接觸；徑向推桿(2)的頂端在中心旋轉凸輪(1)的凹入點時，在回位彈簧(2-2)的作用下樣品壓緊彈簧(3)卡入樣品托盤(5)的樣品承載面(5-2)上，可以壓緊樣品；徑向推桿(2)的頂端在中心旋轉凸輪(1)的凸出點時，凸輪(1)延樣品托盤(5)的徑向頂開徑向推桿(2)，將樣品壓緊彈簧(3)頂離樣品托盤(5)的樣品承載面(5-2)，為樣品裝載提供空間。

6.根據權利要求1所述的一種用于真空互聯掃描電鏡樣品托，其特征在于：所述的中間層是彈簧預應力施加層，可以是波形彈簧(8)，也可以是均勻分布在樣品托盤連接座(6)上的小彈簧頂滾珠結構，優選波形彈簧(8)結構；進一步講中間彈簧預應力施加層，是在樣品托頂層邊緣固定卡位(5-3)沒有外力作用時，利用彈簧預應力產生的摩擦力將樣品托頂層樣品夾持層和底層樣品托安裝接口(9)保持一體，不產生相對轉動；當施加一個外力在固定卡位(5-3)上卡住樣品托頂層時，轉動底層樣品托安裝接口(9)，克服彈簧預應力產生的摩擦力，可以帶動中心旋轉凸輪(1)相對樣品托盤(5)旋轉。

7.根據權利要求1所述的一種用于真空互聯掃描電鏡樣品托，其特征在于：所述的底層是一個根據所用掃描電鏡原位旋轉電機軸設計的樣品托安裝接口(9)，樣品托安裝接口(9)通過中間安裝孔(9-1)上部分與中心旋轉凸輪(1)的中心軸過盈配合，連成一體，可以帶動中心旋轉凸輪(1)相對于樣品托盤(5)旋轉。

8.根據權利要求1所述的一種用于真空互聯掃描電鏡樣品托，其特征在于：所述的一種用于真空互聯掃描電鏡的樣品托上、中、下三層結構中部件中沒有電氣元件，克服電氣元件在真空中散發污染源的不足。