[發明專利]三氧化二鋁薄膜及其制備方法

有效

• 申請號: 201710271598.1
• 申請日: 2017-04-24
• 公開（公告）號: CN107130228B
• 公開（公告）日: 2019-07-02
• 發明（設計）人: 王慷慨;熊玉明
• 申請（專利權）人: 美的集團股份有限公司
• 主分類號: C23C18/12
• 分類號: C23C18/12
• 代理公司: 北京清亦華知識產權代理事務所(普通合伙) 11201
• 代理人: 趙天月

1.一種制備三氧化二鋁薄膜的方法，其特征在于，包括：

(1)配置前驅體溶液，其中，所述前驅體溶液包括α-Al₂O₃水溶膠、擬薄水鋁石、助劑和去離子水，所述α-Al₂O₃水溶膠中α-Al₂O₃的顆粒尺寸不大于80nm、固含量為5～30w/w％，且所述擬薄水鋁石的重量與所述α-Al₂O₃水溶膠和所述去離子水的總重量之比大于0％且不小于50％；

(2)提供干凈的基板，并將所述基板放入所述前驅體溶液中進行沉積處理；以及

(3)將表面沉積有所述前驅體溶液的基板進行燒結處理，以便獲得鍍有所述三氧化二鋁薄膜的基板。

2.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，所述前驅體溶液進一步包括酸，且所述酸包括選自醋酸、檸檬酸、硝酸、鹽酸和水楊酸的至少之一。

3.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，所述助劑包括聚乙烯吡咯烷酮和聚乙二醇的至少之一。

4.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，所述基板由玻璃、不銹鋼、微晶玻璃和搪瓷鋼的至少一種形成。

5.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，所述沉積處理的時間為1～60分鐘。

6.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，所述燒結處理的溫度為300～1000攝氏度，時間為5～60分鐘。

7.一種三氧化二鋁薄膜，其特征在于，通過權利要求1～6任一項所述的方法制備的。