[發(fā)明專利]靜電監(jiān)控系統(tǒng)在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 201710271568.0 | 申請日： | 2017-04-24 |
| 公開（公告）號： | CN108732431A | 公開（公告）日： | 2018-11-02 |
| 發(fā)明（設計）人： | 吳冠廷 | 申請（專利權(quán)）人： | 巧橡科技有限公司 |
| 主分類號： | G01R29/24 | 分類號： | G01R29/24 |
| 代理公司： | 北京匯澤知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11228 | 代理人： | 張瑾 |
| 地址： | 中國臺灣高雄市鼓*** | 國省代碼： | 中國臺灣;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 控制電路 測試平臺 靜電分析 接地檢測裝置 靜電檢測裝置 靜電監(jiān)控 實時判斷 接地 靜電 電連接 殼體 接地檢測 靜電檢測 作業(yè)環(huán)境 待測物 電源 | ||
一種靜電監(jiān)控系統(tǒng)，適用于設置在一測試平臺上，包含一靜電分析裝置、一靜電檢測裝置及一接地檢測裝置；該靜電分析裝置包含一殼體及一設置于該殼體中的控制電路；該靜電檢測裝置包含一靜電檢測組，用以將該控制電路與一人員電連接，以實時判斷該人員是否帶有靜電；該接地檢測裝置包含一接地檢測組，用以將該控制電路與測試平臺電連接，以實時判斷該待測物是否接地；通過本技術(shù)方案，當該測試平臺確實接地，且該人員也不帶靜電時，該靜電分析裝置的控制電路控制對外提供電源，以提供該人員適當?shù)淖鳂I(yè)環(huán)境。
技術(shù)領域
本發(fā)明是有關于一種靜電監(jiān)控系統(tǒng)，尤其是一種利用靜電手環(huán)進行監(jiān)控的靜電監(jiān)控系統(tǒng)。
背景技術(shù)
集成電路是將電路、半導體、晶體管等多種電子組件微小化，制作于硅芯片上。而已經(jīng)微小化的集成電路易會設計出靜電隔離及保護的結(jié)構(gòu)，防止靜電轟擊集成電路而造成微小的電子組件損壞。
但是未完成制作的集成電路，未具有任何靜電隔離及保護的結(jié)構(gòu)，因此在集成電路的制作環(huán)境，必須將環(huán)境中的設備(包含桌椅等對象)都必須進行接地，作業(yè)員也必須穿著低阻值的無塵衣，避免集成電路遭到靜電的破壞。
目前在集成電路的制造流程中，有許多制造流程仍然無法自動化，必須依靠作業(yè)員的作業(yè)，在作業(yè)員的作業(yè)環(huán)境中的設備必須接地，其作業(yè)員的身體也必須接地，以避免產(chǎn)生靜電堆積。
目前的作業(yè)員并無法得知所使用的設備是否正確接地，在廠務應該將所有的設備正確接地得條件下，作業(yè)時只需要依據(jù)作業(yè)員的標準作業(yè)程序(SOP，Standard OperatingProcedures)的規(guī)定，配戴靜電手環(huán)即可讓集成電路在無靜電的條件下正常作業(yè)。
因此當環(huán)境設施的接地發(fā)生問題時，就有可能使設備或人員產(chǎn)生靜電。舉例來說，接地處的鎖設螺絲發(fā)生脫落，或是接地線受外力的拉扯而斷線的意外發(fā)生時，作業(yè)員無法得知任何警報信息，不會停止集成電路的制造作業(yè)，就會使集成電路遭受靜電的破壞，而遭受重大損失。
因此，如何確認集成電路的制造環(huán)境中不會有靜電產(chǎn)生，并在發(fā)現(xiàn)具有靜電產(chǎn)生的風險時，立即通知作業(yè)員停止作業(yè)，以避免集成電路在制作過程被靜電破壞，是相關技術(shù)人員亟需努力的目標。
發(fā)明內(nèi)容
有鑒于此，本發(fā)明的目的是在于提供一種靜電監(jiān)控系統(tǒng)，適用于設置在一測試平臺上，該測試平臺具有一靜電接地線，該靜電監(jiān)控系統(tǒng)包含一靜電分析裝置、一靜電檢測裝置，及一接地檢測裝置。
該靜電分析裝置包含一殼體、一設置于該殼體中的控制電路、一設置于該殼體的電源輸入埠、一設置于該殼體的信息顯示部、一設置于該殼體的靜電檢測端口，及一設置于該殼體的接地檢測端口，該控制電路與該電源輸入埠、該信息顯示部、該靜電檢測端口，及該接地檢測端口電性連接。
該靜電檢測裝置設置于該殼體，并包含一靜電檢測組，該靜電檢測組的一端可分離地設置于靜電檢測端口，另一端與一人員的肌膚連接，該控制電路由該靜電檢測組取得該人員的人體阻抗，以判斷該人員是否帶有靜電。
該接地檢測裝置設置于該殼體，并包含一接地檢測組，該接地檢測組的一端與該接地檢測端口連接，另一端與該測試平臺連接，該控制電路由該接地檢測組取得該靜電接地線的阻抗值，以判斷該測試平臺是否接地。
本發(fā)明的又一技術(shù)手段，是在于上述的靜電檢測組具有一用以插設于該靜電檢測端口的插設端、一與該插設端連接的電位傳輸線、一與該電位傳輸線連接的靜電手環(huán)，及二個設置于該靜電手環(huán)上的金屬片。
本發(fā)明的另一技術(shù)手段，是在于上述的接地檢測端口具有一量測點及一接地點，該接地檢測組具有一連接該量測點與該測試平臺的量測線，及一將該接地點接地的接地線。
本發(fā)明的再一技術(shù)手段，是在于上述的靜電檢測組與該控制電路電連接，該控制電路與該接地點電連接，以使該靜電檢測裝置導走該人員身上的靜電。
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