[發明專利]用于釬焊的金屬化陶瓷結構及其制造方法及磁控管

有效

• 申請號: 201710271292.6
• 申請日: 2017-04-24
• 公開（公告）號: CN107234309B
• 公開（公告）日: 2021-01-26
• 發明（設計）人: 葛春橋;黃志飛;王賢友
• 申請（專利權）人: 廣東威特真空電子制造有限公司
• 主分類號: B23K1/00
• 分類號: B23K1/00;B23K1/20;B23K3/08
• 代理公司: 北京清亦華知識產權代理事務所(普通合伙) 11201
• 代理人: 黃德海

1.一種用于釬焊的金屬化陶瓷結構的制造方法，其特征在于，包括：

將本體層進行金屬化處理以在所述本體層的表面依次形成鉬錳層及鎳層；

將熔點低于所述鉬錳層及所述鎳層的用于釬焊的合金釬料涂覆在所述鎳層的表面上以形成預釬料層；

將所述預釬料層進行烘干；

將所述預釬料層進行燒結以形成釬料層；

所述制造方法在將所述預釬料層進行烘干的步驟中還包括以下步驟：

將所述預釬料層置入還原性氣氛的馬弗爐中進行烘干，對所述預釬料層進行烘干的溫度的范圍在200℃～300℃，對所述預釬料層進行烘干的溫度小于對所述預釬料層進行燒結的溫度；

所述制造方法在將本體層進行金屬化處理以在所述本體層的表面依次形成鉬錳層及鎳層的步驟前還包括以下步驟：

將所述本體層置入隧道爐中進行燒結，在所述隧道爐中對所述本體層進行燒結的溫度的范圍在1500℃～1650℃；

所述制造方法在將本體層進行金屬化處理以在所述本體層的表面依次形成鉬錳層及鎳層的步驟中還包括以下步驟：

通過絲網印刷的方法將鉬錳膏劑涂覆在所述本體層的表面上以形成預鉬錳層，然后將所述預鉬錳層置入還原性氣氛的爐中進行燒結以形成所述鉬錳層，然后在所述鉬錳層的表面鍍鎳以形成所述鎳層；

其中，將所述預鉬錳層置入還原性氣氛的爐中進行燒結的溫度小于或等于對所述本體層進行燒結的溫度；

所述制造方法在將所述預釬料層進行燒結以形成釬料層的步驟中還包括以下步驟：

將所述預釬料層置入由還原性氣體保護的馬弗爐中進行燒結；

其中，對所述預釬料層進行燒結的溫度的范圍在750℃～800℃，從而使得所述釬料層均勻地分散在所述鎳層的表面上；

將所述預釬料層置入由還原性氣體保護的馬弗爐中進行燒結的溫度的值要小于將所述預鉬錳層置入還原性氣氛的爐中進行燒結的溫度的值。

2.如權利要求1所述的用于釬焊的金屬化陶瓷結構的制造方法，其特征在于，所述制造方法在將熔點低于所述鉬錳層及所述鎳層的用于釬焊的合金釬料涂覆在所述鎳層的表面上以形成預釬料層的步驟中還包括以下步驟：

利用工裝夾具對多個所述本體層進行定位，再通過絲網印刷的方法將所述合金釬料涂覆在所述鎳層上以形成所述預釬料層。

3.如權利要求1所述的用于釬焊的金屬化陶瓷結構的制造方法，其特征在于，所述還原性氣體包含氫氣，對所述預釬料層進行燒結的時間的范圍在20min～30min。

4.如權利要求1所述的用于釬焊的金屬化陶瓷結構的制造方法，其特征在于，所述合金釬料包括銀銅合金材料，所述銀銅合金材料中的銅占所述銀銅合金材料的質量百分數為27％～29％。

5.如權利要求1所述的用于釬焊的金屬化陶瓷結構的制造方法，其特征在于，所述釬料層的厚度的范圍在1um～60um。