[發明專利]一種用于電解加工平面曲折群溝槽的裝置及電解加工方法有效
| 申請號： | 201710270753.8 | 申請日： | 2017-04-24 |
| 公開（公告）號： | CN106881507B | 公開（公告）日： | 2019-10-11 |
| 發明（設計）人： | 羅紅平;詹順達;劉桂賢;郭鐘寧;張永俊;彭浩宇 | 申請（專利權）人： | 廣東工業大學 |
| 主分類號： | B23H3/00 | 分類號： | B23H3/00;B23H3/10 |
| 代理公司： | 北京集佳知識產權代理有限公司 11227 | 代理人： | 羅滿 |
| 地址： | 510062 廣東省*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 用于 電解 加工 平面 曲折 溝槽 裝置 方法 | ||
1.一種用于電解加工平面曲折群溝槽的裝置，其特征在于，包括：第一腔體，嵌在所述第一腔體里的襯底，安裝在所述襯底上的工件，設置在所述工件上表面的具有蛇形流道的掩模板，以及設置在所述掩模板上表面的第二腔體；其中，
所述第二腔體的底面作為陰極塊，所述工件的上表面與所述掩模板的下表面緊密貼合，所述陰極塊的下表面與所述掩模板的上表面緊密貼合；
所述陰極塊的本體貫穿有輔助供液孔，所述輔助供液孔的位置與所述蛇形流道的拐彎處的位置相互對應。
2.如權利要求1所述的用于電解加工平面曲折群溝槽的裝置，其特征在于，所述輔助供液孔在所述襯底上的正投影位于所述蛇形流道在所述襯底上的正投影所在區域內。
3.如權利要求2所述的用于電解加工平面曲折群溝槽的裝置，其特征在于，所述輔助供液孔的孔徑比所述蛇形流道的流場寬度小。
4.如權利要求3所述的用于電解加工平面曲折群溝槽的裝置，其特征在于，還包括：直流電源；
所述直流電源的正極與所述工件電性連接；負極與所述陰極塊的外壁電性連接。
5.如權利要求4所述的用于電解加工平面曲折群溝槽的裝置，其特征在于，還包括：第一水泵，第二水泵，水槽和夾具；
所述第一水泵的一端與所述水槽連接，所述第一水泵的另一端與所述夾具的入液口連接；所述夾具的入液口與所述掩模板連接，所述夾具的出液口與所述水槽連接；
所述第二水泵的一端與所述水槽連接，所述第二水泵的另一端與第二腔體的入液口連接。
6.如權利要求5所述的用于電解加工平面曲折群溝槽的裝置，其特征在于，所述第二腔體的材料為導電材料。
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