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[發明專利]一種使用快速脈沖電子源的無離子快門的離子遷移譜儀有效

專利信息
申請號: 201710263348.3 申請日: 2017-04-10
公開(公告)號: CN107026067B 公開(公告)日: 2018-12-14
發明(設計)人: 趙永建;張向平;陳興威 申請(專利權)人: 金華職業技術學院
主分類號: H01J49/08 分類號: H01J49/08;H01J49/14
代理公司: 暫無信息 代理人: 暫無信息
地址: 321017 *** 國省代碼: 浙江;33
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 一種 使用 快速 脈沖 電子 離子 快門 遷移
【權利要求書】:

1.一種使用快速脈沖電子源的無離子快門的離子遷移譜儀,主要包括燈絲(1)、抽取柵格(2)、加速電極(3)、排氣口(4)、一組環形電極(5)、載氣進口(6)、法拉第探測器(7)、待測氣體進口(8)、氮化硅膜(9)、玻璃管(10)、電極(11)、加速電壓源(12)、離子化電壓源(13)、漂移電壓源(14)、漂移管(15)、環電極(16),所述漂移管(15)包括離子化區域(17)和漂移區域(18),所述離子化區域(17)位于所述待測氣體進口(8)至所述環電極(16)之間,所述漂移區域(18)位于所述環電極(16)至所述法拉第探測器(7)之間,所述燈絲(1)、抽取柵格(2)、加速電極(3)、氮化硅膜(9)、玻璃管(10)、電極(11)、加速電壓源(12)組成非放射性的具有脈沖工作模式的電子源,電子發射電流可以在幾十皮安到幾百納安之間調節,所述漂移管(15)末端與所述法拉第探測器(7)連接并密封,所述漂移管(15)連接有所述待測氣體進口(8)、排氣口(4)、載氣進口(6),所述漂移管(15)內包含有均布的所述一組環形電極(5),所述一組環形電極(5)能夠對所述漂移區域進行均勻分壓,形成均勻的漂移電場,所述環電極(16)為所述一組環形電極(5)中的一個、且距離所述漂移管(15)起始端四毫米,所述離子化電壓源(13)一端連接所述加速電極(3)、另一端連接所述環電極(16),所述漂移電壓源(14)一端連接所述環電極(16)、另一端連接所述法拉第探測器(7),通過分別調節所述離子化電壓源(13)和所述漂移電壓源(14)的輸出電壓,能夠分別調節所述離子化區域(17)和所述漂移區域(18)的電場,

其特征是:所述漂移管(15)的起始端直接與具有脈沖工作模式的電子源的所述加速電極(3)連接并密封,所述加速電極(3)中心的孔與所述漂移管(15)連通,使得所述離子化區域(17)緊貼所述氮化硅膜(9)且不受任何限制,電子源產生周期性的電子束流,在所述離子化區域(17)進行待測氣體離子化過程,每個脈沖周期中的離子化后的待測氣體形成一個離子包,產生的不同種類的離子能夠直接進入所述漂移區域(18)被分離,先后到達所述法拉第探測器(7)被檢測;能夠通過調節所述加速電壓源(12)的輸出電壓來在儀器靈敏度和分辨率之間做選擇。

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