[發明專利]一種提高刻蝕藥液壽命的工藝

有效

• 申請號: 201710259493.4
• 申請日: 2017-04-20
• 公開（公告）號: CN107098595B
• 公開（公告）日: 2019-11-05
• 發明（設計）人: 朱軍;李龍庭;陳霞;王杰;李剛
• 申請（專利權）人: 通威太陽能（合肥）有限公司
• 主分類號: C03C15/00
• 分類號: C03C15/00
• 代理公司: 昆明合眾智信知識產權事務所 53113
• 代理人: 張璽

1.一種提高刻蝕藥液壽命的工藝，其特征在于，包括以下幾個步驟：

步驟1)：向藥液活性低的刻蝕藥液中加入其質量2～15％的鹽，鹽為強酸弱堿鹽，陽離子為Fe²⁺、Co²⁺、Ni²⁺、Cu²⁺、Cr³⁺或Al³⁺離子，陰離子為Cl^-、SO₄^2-或NO₃^-酸根離子，同時加入其質量13～40‰的乙氧基化合物，混合并攪勻；

其中刻蝕藥液中的SiF₆^2-陰離子與強酸弱堿鹽水解的磁性陽離子反應通式如下：

刻蝕藥液中的H⁺陽離子與強酸弱堿鹽水解的陰離子反應通式如下：

步驟2)：將攪勻后的混合溶液經過磁場頻率為20～40kHz空化，然后再將空化后溶液中的沉淀物X₂(SiF₆)_n濾出，濾出沉淀物X₂(SiF₆)_n后的溶液再通過離子交換樹脂，得到濾液；

步驟3)：向步驟2)中的濾液加入去離子水，形成新溶液，保持pH值為1.8～2.3。

2.根據權利要求1所述的一種提高刻蝕藥液壽命的工藝，其特征在于：步驟1)中乙氧基化合物為聚乙氧基化脂肪醇或者乙氧基化乙炔二醇。

3.根據權利要求1所述的一種提高刻蝕藥液壽命的工藝，其特征在于：步驟2)中離子交換樹脂為大孔型強酸性陽離子樹脂、大孔型強堿性陰離子樹脂或者二者的疊加。

4.根據權利要求1所述的一種提高刻蝕藥液壽命的工藝，其特征在于：步驟3)中通過pH測試儀檢測新溶液的pH值進而控制去離子水的量。