[發明專利]生長在硅襯底上的氮化鎵納米柱LED外延片及其制備方法有效
| 申請號： | 201710259420.5 | 申請日： | 2017-04-19 |
| 公開（公告）號： | CN106981549B | 公開（公告）日： | 2023-05-23 |
| 發明（設計）人： | 李國強;韓晶磊;溫雷;高芳亮 | 申請（專利權）人： | 華南理工大學 |
| 主分類號： | H01L33/22 | 分類號： | H01L33/22;H01L33/12;H01L33/00;H01L21/02 |
| 代理公司： | 廣州市華學知識產權代理有限公司 44245 | 代理人： | 陳文姬 |
| 地址： | 510640 廣*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 生長 襯底 氮化 納米 led 外延 及其 制備 方法 | ||
【說明書】：
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