[發明專利]有機發光顯示裝置和制造有機發光顯示裝置的方法

有效

• 申請號: 201710256835.7
• 申請日: 2017-04-19
• 公開（公告）號: CN107305907B
• 公開（公告）日: 2023-06-16
• 發明（設計）人: 梁伸赫;李光洙;金斗鉉;金志訓
• 申請（專利權）人: 三星顯示有限公司
• 主分類號: H10K59/122
• 分類號: H10K59/122;H10K59/12;H10K59/121;H10K71/00
• 代理公司: 北京銘碩知識產權代理有限公司 11286
• 代理人: 尹淑梅;劉燦強

提供了一種有機發光顯示裝置和制造該有機發光顯示裝置的方法。所述有機發光顯示裝置包括基底、緩沖層、有源層、柵極絕緣層、保護絕緣層、柵電極、層間絕緣層、源電極和漏電極以及子像素結構。緩沖層設置在基底上。有源層設置在緩沖層上，并且具有源極區、漏極區和溝道區。柵極絕緣層在有源層上設置在溝道區中。保護絕緣層設置在緩沖層、有源層的源極區和漏極區以及柵極絕緣層上。柵電極在保護絕緣層上設置在溝道區中。層間絕緣層設置在柵電極上。源電極和漏電極設置在層間絕緣層上。

技術領域涉及有機發光顯示裝置以及制造有機發光顯示裝置的方法。

背景技術

有機發光顯示(OLED)裝置廣泛地用在電子裝置中。OLED裝置可以包括用于控制信號傳輸的開關單元。

開關單元可以包括半導體元件。如果半導體元件未被充分保護，那么半導體元件的質量、性能和/或可靠性會劣化。作為結果，OLED裝置的性能會不令人滿意。

發明內容

一些示例實施例涉及一種包括氧化物半導體的有機發光顯示裝置。

一些示例實施例涉及一種制造包括氧化物半導體的有機發光顯示裝置的方法。

根據一些示例實施例，一種有機發光顯示(OLED)裝置包括基底、緩沖層、有源層、柵極絕緣層、保護絕緣層、柵電極、層間絕緣層、源電極和漏電極以及子像素結構。緩沖層設置在基底上。有源層設置在緩沖層上，并且具有源極區、漏極區和溝道區。柵極絕緣層設置在溝道區上。保護絕緣層設置在緩沖層、有源層的源極區和漏極區以及柵極絕緣層上。柵電極設置在溝道區上并且在保護絕緣層上。層間絕緣層設置在柵電極上。源電極和漏電極設置在層間絕緣層上，并且與有源層的源極區和漏極區接觸。子像素結構設置在基底上。

在示例實施例中，緩沖層和柵極絕緣層可以包括具有氧的無機材料。

在示例實施例中，緩沖層和柵極絕緣層可以基本由具有氧的無機材料組成。

在示例實施例中，有源層可以包括氧化物半導體。

在示例實施例中，保護絕緣層和柵電極可以具有同一金屬材料。

在示例實施例中，OLED裝置還可以包括設置在柵電極上的輔助柵電極。輔助柵電極可以設置在柵電極與層間絕緣層之間。

在示例實施例中，子像素結構可以包括在基底上的下電極、在下電極上的發光層以及在發光層上的上電極。

在示例實施例中，有源層可以在從溝道區到漏極區的方向上延伸，有源層的延伸部可以限定為下電極區。有源層的延伸部可以用作下電極，保護絕緣層和層間絕緣層可以暴露有源層的下電極區。

在示例實施例中，OLED裝置還可以包括設置在基底上的平坦化層。平坦化層可以覆蓋層間絕緣層、源電極和漏電極以及保護絕緣層，并且可以具有暴露有源層的下電極區的一部分的開口。發光層可以設置在平坦化層的開口中。

根據示例實施例的一些方面，一種OLED裝置包括基底、緩沖層、有源層、柵極絕緣層、柵電極、保護絕緣層、層間絕緣層、源電極和漏電極以及子像素結構。緩沖層設置在基底上。有源層設置在緩沖層上，并且具有源極區、漏極區和溝道區。柵極絕緣層設置在有源層的溝道區上。柵電極設置在柵極絕緣層上。保護絕緣層設置在緩沖層、有源層的源極區和漏極區以及柵電極上。層間絕緣層設置在保護絕緣層上。源電極和漏電極設置在層間絕緣層上，源電極和漏電極與有源層的源極區和漏極區接觸。子像素結構設置在基底上。

在示例實施例中，緩沖層和柵極絕緣層可以包括具有氧的無機材料，有源層可以包括氧化物半導體。

在示例實施例中，保護絕緣層和柵電極可以具有同一金屬材料。