[發(fā)明專利]氧化鎵晶體的制造裝置和氧化鎵晶體的制造方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201710256274.0
• 申請(qǐng)日: 2017-04-19
• 公開（公告）號(hào): CN107304481B
• 公開（公告）日: 2021-11-05
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 干川圭吾;小林拓實(shí);大葉悅子;柳澤潤
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 國立大學(xué)法人信州大學(xué);不二越機(jī)械工業(yè)株式會(huì)社
• 主分類號(hào): C30B29/16
• 分類號(hào): C30B29/16;C30B11/00
• 代理公司: 北京三友知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11127
• 代理人: 龐東成

1.一種氧化鎵晶體的制造裝置，其為由垂直布里奇曼爐構(gòu)成的氧化鎵晶體的制造裝置，該垂直布里奇曼爐具備：基體；配設(shè)于該基體上的具有耐熱性的筒狀的爐主體；使該爐主體閉塞的蓋體；配設(shè)于所述爐主體內(nèi)的發(fā)熱體；貫通所述基體并以上下自由移動(dòng)的方式設(shè)置的坩堝支承軸；和配設(shè)于該坩堝支承軸上并被所述發(fā)熱體所加熱的坩堝，所述氧化鎵晶體的制造裝置的特征在于，

所述坩堝為Rh含量10～30wt%的Pt-Rh系合金制且具有耐受1800℃的溫度的耐熱性的坩堝，

所述垂直布里奇曼爐為在氧化氣氛下被加熱至1800℃的溫度的高溫爐，所述爐主體的內(nèi)壁形成為由兩個(gè)以上具有所需高度的環(huán)狀的耐熱部件層疊而成的耐熱壁，并且，所述環(huán)狀的耐熱部件通過將兩個(gè)以上的分割片接合而形成為環(huán)狀，

所述發(fā)熱體為電阻加熱發(fā)熱體。

2.如權(quán)利要求1所述的氧化鎵晶體的制造裝置，其特征在于，所述耐熱壁為氧化鋯制。

3.如權(quán)利要求1或2所述的氧化鎵晶體的制造裝置，其特征在于，所述電阻加熱發(fā)熱體是以MoSi₂為主材的電阻加熱發(fā)熱體。

4.如權(quán)利要求3所述的氧化鎵晶體的制造裝置，其特征在于，所述蓋體由絕熱材料形成，在該絕熱材料中配設(shè)有增強(qiáng)部件。

5.一種氧化鎵晶體的制造方法，其特征在于，使用權(quán)利要求1～4中任一項(xiàng)所述的氧化鎵晶體的制造裝置，在氧氣氣氛下生長氧化鎵的晶體。

6.如權(quán)利要求5所述的氧化鎵晶體的制造方法，其特征在于，氧化鎵為β-Ga₂O₃。