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[發明專利]無堿玻璃基板及其制備方法有效

專利信息
申請號: 201710255130.3 申請日: 2017-04-18
公開(公告)號: CN107129142B 公開(公告)日: 2021-02-09
發明(設計)人: 張廣濤;王俊峰;李剛;閆冬成;王麗紅;鄭權 申請(專利權)人: 東旭光電科技股份有限公司
主分類號: C03C3/095 分類號: C03C3/095;C03C3/087;C03C3/085;C03C3/083;C03C1/00
代理公司: 北京潤平知識產權代理有限公司 11283 代理人: 嚴政;劉依云
地址: 050035 河*** 國省代碼: 河北;13
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 玻璃 及其 制備 方法
【權利要求書】:

1.一種無堿玻璃基板,其特征在于,所述無堿玻璃基板在濃度為10重量%的HF溶液中的侵蝕量大于等于3.86mg/cm2且小于5.5mg/cm2

以無堿玻璃基板的組成中各組分的總摩爾量為基準,所述無堿玻璃基板的組成由:70-74mol%的SiO2、11-14mol%的Al2O3、0-2.5mol%的ZnO、10-17mol%的RO和0.01-2mol%的RE2O3組成,所述無堿玻璃基板的組成中不含B2O3

其中,所述RO為MgO、CaO、SrO和BaO中的至少一種;

所述RE2O3為Y2O3、La2O3、Gd2O3、Ce2O3、Yb2O3和Lu2O3中的至少一種;

以無堿玻璃基板的組成中各組分的總摩爾量為基準,所述無堿玻璃基板的組成中各組分的含量按摩爾百分比計算滿足C值的范圍為0.86-1.12,其中,C值由下式計算得出:

C=0.5×SiO2+P1×Al2O3+P2×(CaO+SrO)+P3×(MgO+BaO+ZnO)+P4×RE2O3

其中,0.8≤P1≤1.3,7≤P2≤10,1.5≤P3≤3,-35≤P4≤-20,

SiO2、Al2O3、MgO、CaO、SrO、BaO、ZnO、RE2O3各自代表該組分占無堿玻璃基板組成中的摩爾百分比;

以無堿玻璃基板的組成中各組分的總摩爾量為基準,所述無堿玻璃基板的組成中各組分的含量按摩爾百分比計算滿足:0.8≥(MgO+BaO)/ΣRO≥0.58,其中,ΣRO表示MgO、CaO、SrO和BaO的摩爾百分比之和。

2.根據權利要求1所述的無堿玻璃基板,其特征在于,所述無堿玻璃基板在10重量%的HF溶液中的侵蝕量為4.5-5.5mg/cm2

以無堿玻璃基板的組成中各組分的總摩爾量為基準,所述無堿玻璃基板的組成由:70.4-73mol%的SiO2、11.3-13mol%的Al2O3、0-2.2mol%的ZnO、12.6-16.7mol%的RO和0.01-0.7mol%的RE2O3組成。

3.根據權利要求1或2所述的無堿玻璃基板,其特征在于,以無堿玻璃基板的組成中各組分的總摩爾量為基準,所述無堿玻璃基板的組成中各組分的含量按摩爾百分比計算滿足:SiO2+Al2O382mol%。

4.根據權利要求1或2所述的無堿玻璃基板,其特征在于,以無堿玻璃基板的組成中各組分的總摩爾量為基準,所述無堿玻璃基板的組成中各組分的含量按摩爾百分比計算滿足:CaO/(CaO+SrO)≥0.4。

5.根據權利要求4所述的無堿玻璃基板,其特征在于,以無堿玻璃基板的組成中各組分的總摩爾量為基準,所述無堿玻璃基板的組成中各組分的含量按摩爾百分比計算滿足:CaO/(CaO+SrO)≥0.5。

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