[發明專利]無堿玻璃基板及其制備方法有效
| 申請號: | 201710255130.3 | 申請日: | 2017-04-18 |
| 公開(公告)號: | CN107129142B | 公開(公告)日: | 2021-02-09 |
| 發明(設計)人: | 張廣濤;王俊峰;李剛;閆冬成;王麗紅;鄭權 | 申請(專利權)人: | 東旭光電科技股份有限公司 |
| 主分類號: | C03C3/095 | 分類號: | C03C3/095;C03C3/087;C03C3/085;C03C3/083;C03C1/00 |
| 代理公司: | 北京潤平知識產權代理有限公司 11283 | 代理人: | 嚴政;劉依云 |
| 地址: | 050035 河*** | 國省代碼: | 河北;13 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 玻璃 及其 制備 方法 | ||
1.一種無堿玻璃基板,其特征在于,所述無堿玻璃基板在濃度為10重量%的HF溶液中的侵蝕量大于等于3.86mg/cm2且小于5.5mg/cm2,
以無堿玻璃基板的組成中各組分的總摩爾量為基準,所述無堿玻璃基板的組成由:70-74mol%的SiO2、11-14mol%的Al2O3、0-2.5mol%的ZnO、10-17mol%的RO和0.01-2mol%的RE2O3組成,所述無堿玻璃基板的組成中不含B2O3,
其中,所述RO為MgO、CaO、SrO和BaO中的至少一種;
所述RE2O3為Y2O3、La2O3、Gd2O3、Ce2O3、Yb2O3和Lu2O3中的至少一種;
以無堿玻璃基板的組成中各組分的總摩爾量為基準,所述無堿玻璃基板的組成中各組分的含量按摩爾百分比計算滿足C值的范圍為0.86-1.12,其中,C值由下式計算得出:
C=0.5×SiO2+P1×Al2O3+P2×(CaO+SrO)+P3×(MgO+BaO+ZnO)+P4×RE2O3,
其中,0.8≤P1≤1.3,7≤P2≤10,1.5≤P3≤3,-35≤P4≤-20,
SiO2、Al2O3、MgO、CaO、SrO、BaO、ZnO、RE2O3各自代表該組分占無堿玻璃基板組成中的摩爾百分比;
以無堿玻璃基板的組成中各組分的總摩爾量為基準,所述無堿玻璃基板的組成中各組分的含量按摩爾百分比計算滿足:0.8≥(MgO+BaO)/ΣRO≥0.58,其中,ΣRO表示MgO、CaO、SrO和BaO的摩爾百分比之和。
2.根據權利要求1所述的無堿玻璃基板,其特征在于,所述無堿玻璃基板在10重量%的HF溶液中的侵蝕量為4.5-5.5mg/cm2,
以無堿玻璃基板的組成中各組分的總摩爾量為基準,所述無堿玻璃基板的組成由:70.4-73mol%的SiO2、11.3-13mol%的Al2O3、0-2.2mol%的ZnO、12.6-16.7mol%的RO和0.01-0.7mol%的RE2O3組成。
3.根據權利要求1或2所述的無堿玻璃基板,其特征在于,以無堿玻璃基板的組成中各組分的總摩爾量為基準,所述無堿玻璃基板的組成中各組分的含量按摩爾百分比計算滿足:SiO2+Al2O382mol%。
4.根據權利要求1或2所述的無堿玻璃基板,其特征在于,以無堿玻璃基板的組成中各組分的總摩爾量為基準,所述無堿玻璃基板的組成中各組分的含量按摩爾百分比計算滿足:CaO/(CaO+SrO)≥0.4。
5.根據權利要求4所述的無堿玻璃基板,其特征在于,以無堿玻璃基板的組成中各組分的總摩爾量為基準,所述無堿玻璃基板的組成中各組分的含量按摩爾百分比計算滿足:CaO/(CaO+SrO)≥0.5。
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