[發(fā)明專利]拋光設(shè)備及檢測(cè)方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201710254306.3
• 申請(qǐng)日: 2017-04-18
• 公開（公告）號(hào): CN108723986B
• 公開（公告）日: 2020-07-17
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 馬修·埃德溫
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 上海新昇半導(dǎo)體科技有限公司
• 主分類號(hào): B23Q15/22
• 分類號(hào): B23Q15/22;B24B37/28
• 代理公司: 上海思微知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 31237
• 代理人: 余昌昊

本發(fā)明揭示了一種拋光設(shè)備及檢測(cè)方法。本發(fā)明提供的拋光設(shè)備，包括殼體，位于所述殼體內(nèi)的多個(gè)載體，位于所述殼體上的第一定位器和第二定位器，所述第一定位器指示所述載體的插入位置，所述第二定位器確認(rèn)相鄰載體之間的位置關(guān)系。由此，在利用本發(fā)明提供的拋光設(shè)備進(jìn)行加工時(shí)，能夠確保每個(gè)載體的正確插入，從而避免晶圓受損。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及半導(dǎo)體領(lǐng)域，特別是涉及一種拋光設(shè)備及檢測(cè)方法。

背景技術(shù)

例如在半導(dǎo)體加工生產(chǎn)過程中，化學(xué)機(jī)械拋光工藝是制約著產(chǎn)品質(zhì)量的一個(gè)關(guān)鍵因素，不良的化學(xué)機(jī)械拋光工藝很可能導(dǎo)致報(bào)廢。工欲善其事，必先利其器。因此，對(duì)拋光設(shè)備能否正確的執(zhí)行拋光，提出了很高的要求。

現(xiàn)有的雙面拋光設(shè)備包括上下兩個(gè)拋光板和設(shè)置在拋光板之間的載體，載體中承載有晶圓，以對(duì)晶圓進(jìn)行拋光。但是，目前對(duì)載體的插入位置通常只是經(jīng)過目測(cè)后來執(zhí)行，因此位置并不精確，并容易導(dǎo)致晶圓受損。

當(dāng)載體位置異常時(shí)，拋光板會(huì)出現(xiàn)位置的波動(dòng)，設(shè)備會(huì)改變對(duì)拋光板施加的作用力來調(diào)整這一波動(dòng)，通常是增大施加于上拋光板的壓力，于是很容易導(dǎo)致壓力過大而使得晶圓受損。

有鑒于此，需要對(duì)現(xiàn)有的拋光設(shè)備進(jìn)行改善，確保載體位置正常，以避免異常發(fā)生。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于提供一種拋光設(shè)備和檢測(cè)方法，可以確保載體位置的準(zhǔn)確性。

為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明的提供一種拋光設(shè)備，包括：

殼體，位于所述殼體內(nèi)的多個(gè)載體，位于所述殼體上的第一定位器和第二定位器，所述第一定位器指示所述載體的插入位置，所述第二定位器確認(rèn)相鄰載體之間的位置關(guān)系。

可選的，對(duì)于所述的拋光設(shè)備，所述第二定位器包括一檢測(cè)部分、一比較部分和一警示部分，所述檢測(cè)部分掃描所述多個(gè)載體的插入位置信息，所述比較部分依據(jù)所述插入位置信息與一設(shè)定標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行比較并產(chǎn)生比較結(jié)果，所述警示部分依據(jù)所述比較結(jié)果警示異?；蛲ㄟ^。

可選的，對(duì)于所述的拋光設(shè)備，所述檢測(cè)部分為一自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)相機(jī)。

可選的，對(duì)于所述的拋光設(shè)備，在所述設(shè)定標(biāo)準(zhǔn)中，所述多個(gè)載體均勻分布且具有設(shè)定角度差異。

可選的，對(duì)于所述的拋光設(shè)備，所述載體插入在一內(nèi)環(huán)和一外環(huán)之間形成的軌道中。

可選的，對(duì)于所述的拋光設(shè)備，所述設(shè)定角度＝360°/n，其中n為所述軌道中插入的載體的總數(shù)量。

可選的，對(duì)于所述的拋光設(shè)備，所述載體與所述內(nèi)環(huán)和外環(huán)通過齒牙嚙合。

可選的，對(duì)于所述的拋光設(shè)備，所述第一定位器發(fā)出一光斑，當(dāng)所述光斑位于所述載體設(shè)定方向的相鄰兩個(gè)齒牙之間時(shí)進(jìn)行所述載體的插入。

本發(fā)明還提供一種檢測(cè)方法，采用如上所述的拋光設(shè)備，包括：

開啟所述第一定位器和所述第二定位器；

在所述第一定位器的指示下插入第一個(gè)載體，所述第二定位器記錄所述第一個(gè)載體的位置；

在所述第一定位器的指示下插入第二個(gè)載體，所述第二定位器記錄所述第二個(gè)載體的位置并與第一個(gè)載體的位置進(jìn)行比較；

若比較結(jié)果正常，進(jìn)行第三個(gè)載體的插入；若比較結(jié)果異常，則重新進(jìn)行第二個(gè)載體的插入，直至比較結(jié)果正常。

可選的，對(duì)于所述的檢測(cè)方法，當(dāng)所有載體皆插入后，關(guān)閉所述第一定位器和所述第二定位器。