[發明專利]一種基于光學檢測的微機電系統平臺

有效

• 申請號: 201710253867.1
• 申請日: 2017-04-18
• 公開（公告）號: CN106949955B
• 公開（公告）日: 2023-03-21
• 發明（設計）人: 杜亦佳;周泉豐;代剛;張健;李順;劉利芳;方雯;任尚清
• 申請（專利權）人: 中國工程物理研究院電子工程研究所
• 主分類號: G01H9/00
• 分類號: G01H9/00
• 代理公司: 北京高沃律師事務所 11569
• 代理人: 杜陽陽

1.一種基于光學檢測的微機電系統平臺，其特征在于，包括：平臺主體、光學檢測機構和外部封裝板；所述平臺主體包括振動平臺；所述外部封裝板形成密閉空間，將所述平臺主體和所述光學檢測機構封裝在所述密閉空間內部；所述光學檢測機構包括激光器、反射鏡、二極管陣列；所述反射鏡水平固定在所述振動平臺頂部，鏡面朝向所述外部封裝板的頂部；所述激光器和所述二極管陣列位于所述外部封裝板頂部內側，所述二極管陣列包括多個光電二極管；所述二極管陣列圍繞在所述激光器周圍；所述激光器發出的光照射到所述反射鏡上，經所述反射鏡的反射后形成的反射光照射到所述二極管陣列上；所述二極管陣列檢測所述反射光的光強；

所述二極管陣列包括第一陣列和第二陣列；所述第一陣列位于所述激光器外圍；所述第二陣列位于所述第一陣列外圍；所述第一陣列中所述光電二極管的數量和排列方式與所述第二陣列中所述光電二極管的數量和排列方式相同；

所述第一陣列中所有相鄰光電二極管的連線構成等邊多邊形；所述第二陣列中所有相鄰光電二極管的連線構成等邊多邊形；

所述第二陣列中所述等邊多邊形的任意一角的所述光電二極管的位置與相對應的所述第一陣列中所述光電二極管的位置的連線均穿過所述激光器所在位置；

所述平臺主體還包括驅動結構，所述驅動結構位于所述振動平臺底部和四周，驅動所述振動平臺產生振動；

所述驅動結構包括水平驅動結構和垂直驅動結構；所述水平驅動結構位于所述振動平臺的四周，驅動所述振動平臺產生水平方向的振動；所述垂直驅動結構位于所述振動平臺的底部，驅動所述振動平臺產生垂直方向的振動。

2.根據權利要求1所述的一種基于光學檢測的微機電系統平臺，其特征在于，所述光學檢測機構還包括偏置電極；所述偏置電極安裝在所述外部封裝板上，所述激光器和所述二極管陣列均通過所述偏置電極與外部裝置進行電連接，所述外部裝置包括為所述激光器提供電能的電源和對所述二極管陣列的電信號進行分析的數據處理裝置。

3.根據權利要求2所述的一種基于光學檢測的微機電系統平臺，其特征在于，所述數據處理裝置根據所述二極管陣列檢測到的所述反射光的光強計算所述激光器發出的光的光程；根據所述光程的變化確定所述振動平臺的振動狀態。

4.根據權利要求1所述的一種基于光學檢測的微機電系統平臺，其特征在于，所述平臺主體還包括支撐結構；所述支撐結構用于支撐所述振動平臺和所述驅動結構。