[發明專利]溶液性質感測器及其制造方法

有效

• 申請號: 201710251347.7
• 申請日: 2017-04-18
• 公開（公告）號: CN108732211B
• 公開（公告）日: 2021-04-06
• 發明（設計）人: 林哲信;吳永成;吳尚璟;高尉馨
• 申請（專利權）人: 中山大學
• 主分類號: G01N27/07
• 分類號: G01N27/07
• 代理公司: 上海翼勝專利商標事務所(普通合伙) 31218
• 代理人: 翟羽

1.一種溶液性質感測器，其特征在于：所述溶液性質感測器包含：

一基板；

一氧化銦錫圖案層，設置于所述基板上，且所述氧化銦錫圖案層包括：

一酸堿值感測圖案；

一溫度感測圖案，電性隔離于所述酸堿值感測圖案；及

一電導度感測圖案，電性隔離于所述酸堿值感測圖案及所述溫度感測圖案；以及

一電路連接插槽，包含：

一容置空間，所述基板及所述氧化銦錫圖案層設于所述容置空間中；多個電路連接端，分別電性連接所述酸堿值感測圖案、所述溫度感測圖案及所述電導度感測圖案；及

朝外伸出的一凸塊，所述多個電路連接端設置在所述凸塊上。

2.如權利要求1所述的溶液性質感測器，其特征在于：所述基板的材質包括聚對苯二甲酸乙二酯。

3.如權利要求1所述的溶液性質感測器，其特征在于：所述酸堿值感測圖案包括一酸堿值感測區及一酸堿值電路連接區，所述酸堿值電路連接區連接所述酸堿值感測區。

4.如權利要求1所述的溶液性質感測器，其特征在于：所述溫度感測圖案包括一第一溫度電路連接區、一第二溫度電路連接區及一溫度感測區，所述溫度感測區位在所述第一溫度電路連接區及所述第二溫度電路連接區之間，且所述溫度感測區的二端分別連接所述第一溫度電路連接區與所述第二溫度電路連接區。

5.如權利要求1所述的溶液性質感測器，其特征在于：所述電導度感測圖案包括一第一電導度電路連接區及一第二電導度電路連接區，所述第一電導度電路連接區與所述第二電導度電路連接區是電性隔離且隔開一距離。

6.如權利要求1所述的溶液性質感測器，其特征在于：所述基板及所述氧化銦錫圖案層之間更包含五氧化二鈮層及二氧化硅層，其中在所述基板上依序堆疊所述五氧化二鈮層、所述二氧化硅層及所述氧化銦錫圖案層。

7.如權利要求1所述的溶液性質感測器，其特征在于：所述溶液性質感測器更包括一參考電極，設于所述容置空間中，其中所述參考電極位在所述基板的上方及所述氧化銦錫圖案層的上方。

8.一種溶液性質感測器的制造方法，其特征在于：所述溶液性質感測器的制造方法包含步驟：

提供一基板；

形成一氧化銦錫層于所述基板上；

圖案化所述氧化銦錫層，以使所述氧化銦錫層形成一氧化銦錫圖案層，其中所述氧化銦錫圖案層包括：

一酸堿值感測圖案；

一溫度感測圖案，電性隔離于所述酸堿值感測圖案；及

一電導度感測圖案，電性隔離于所述酸堿值感測圖案及所述溫度感測圖案；以及

將所述基板及所述氧化銦錫圖案層設置于一電路連接插槽的一容置空間中，其中所述電路連接插槽更包括：

多個電路連接端，且所述多個電路連接端分別電性連接所述酸堿值感測圖案、所述溫度感測圖案及所述電導度感測圖案；及

朝外伸出的一凸塊，所述多個電路連接端設置在所述凸塊上。

9.如權利要求8所述的溶液性質感測器的制造方法，其特征在于：所述圖案化所述氧化銦錫層的步驟更包括以一激光雕刻方式圖案化所述氧化銦錫層。

10.如權利要求8所述的溶液性質感測器的制造方法，其特征在于：所述圖案化所述氧化銦錫層的步驟更包括以一濕式蝕刻方式圖案化所述氧化銦錫層。