[發(fā)明專利]熱真空環(huán)境下應用的微刀具涂層三維精密位移工作臺有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201710249791.5 | 申請日: | 2017-04-17 |
| 公開(公告)號: | CN107058972B | 公開(公告)日: | 2019-01-18 |
| 發(fā)明(設(shè)計)人: | 白清順;王永旭;杜云龍;尚元江;余天凱 | 申請(專利權(quán))人: | 哈爾濱工業(yè)大學 |
| 主分類號: | C23C16/27 | 分類號: | C23C16/27;C23C16/00 |
| 代理公司: | 哈爾濱龍科專利代理有限公司 23206 | 代理人: | 高媛 |
| 地址: | 150000 黑龍*** | 國省代碼: | 黑龍江;23 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 真空 環(huán)境 應用 刀具 涂層 三維 精密 位移 工作臺 | ||
1.一種熱真空環(huán)境下應用的微刀具涂層三維精密位移工作臺,它包括升降位移機構(gòu)及平面位移機構(gòu);其特征在于:所述的熱真空環(huán)境下應用的微刀具涂層三維精密位移工作臺還包括隔熱固定機構(gòu);所述的隔熱固定機構(gòu)包括石墨套(2)、黃銅臺(3)、隔熱板(4)、熱電偶固定臺(5)及熱電偶(6),所述的升降位移機構(gòu)包括升降臺(7)、雙旋向螺桿(11)、手柄(12)及剪形升降機構(gòu)(18),所述的平面位移機構(gòu)包括微調(diào)塊(13)、工作臺底座(17)、四個微調(diào)螺釘安裝塊(14)及四個細牙螺釘(15);
所述的隔熱板(4)水平設(shè)置在升降臺(7)及熱電偶固定臺(5)上,所述的黃銅臺(3)水平設(shè)置在隔熱板(4)上,黃銅臺(3)、隔熱板(4)及升降臺(7)上同軸設(shè)置有多個螺紋孔一,黃銅臺(3)、隔熱板(4)及熱電偶固定臺(5)上同軸設(shè)置有螺紋孔二,黃銅臺(3)、隔熱板(4)及升降臺(7)通過旋入多個螺紋孔一內(nèi)的陶瓷螺釘緊固連接,黃銅臺(3)上設(shè)有一安裝孔,黃銅臺(3)所述的安裝孔內(nèi)套裝有石墨套(2),微刀具(1)的下端安裝在所述的石墨套(2)內(nèi),所述的熱電偶(6)自帶有外螺紋,熱電偶(6)與黃銅臺(3)、隔熱板(4)及熱電偶固定臺(5)的螺紋孔二緊固連接,黃銅臺(3)、隔熱板(4)與熱電偶固定臺(5)三者通過多個緊固螺釘連接;
升降臺(7)下端面設(shè)有左側(cè)壁和右側(cè)壁,升降臺(7)的左側(cè)壁和右側(cè)壁的后端分別沿各自的長度方向設(shè)有一個上長孔(7-1),兩個所述的上長孔(7-1)正對設(shè)置,剪形升降機構(gòu)(18)的左后上端和右后上端通過一根上長螺栓與兩個上長孔滑動連接,剪形升降機構(gòu)(18)的左前上端和右前上端分別通過一根上短螺栓與升降臺(7)的左側(cè)壁前端和右側(cè)壁前端固接;所述的微調(diào)塊(13)水平設(shè)置,微調(diào)塊(13)上端面設(shè)有左支撐板和右支撐板,微調(diào)塊(13)的左支撐板和右支撐板的后端分別沿各自長度方向設(shè)有一個下長孔(13-1),兩個所述的下長孔(13-1)正對設(shè)置,剪形升降機構(gòu)(18)的左后下端和右后下端通過一根下長螺栓與兩個下長孔(13-1)滑動連接,剪形升降機構(gòu)(18)的左前下端和右前下端分別通過一根下短螺栓與微調(diào)塊(13)的左支撐板前端和右支撐板前端固接;剪形升降機構(gòu)(18)的兩個前后平行設(shè)置的連接柱(9)中部均設(shè)有徑向螺紋通孔,所述的雙旋向螺桿(11)與兩個所述的連接柱(9)的徑向螺紋通孔螺紋連接,雙旋向螺桿(11)的前端安裝有手柄(12);
所述的微調(diào)塊(13)設(shè)置在工作臺底座(17)上,所述的工作臺底座(17)上位于微調(diào)塊(13)的四個側(cè)面處對稱設(shè)置有四個微調(diào)螺釘安裝塊(14),每個微調(diào)螺釘安裝塊(14)的外側(cè)面中部均設(shè)有垂直于微調(diào)塊(13)的細牙螺紋孔,每個微調(diào)螺釘安裝塊(14)的細牙螺紋孔內(nèi)均螺紋連接有細牙螺釘(15),四個所述的細牙螺釘(15)的端部均頂靠在微調(diào)塊(13)相對的側(cè)面上。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的熱真空環(huán)境下應用的微刀具涂層三維精密位移工作臺,其特征在于:所述的石墨套(2)的內(nèi)孔直徑為3mm、4mm、5mm或者1/8英寸。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的熱真空環(huán)境下應用的微刀具涂層三維精密位移工作臺,其特征在于:所述的石墨套(2)與黃銅臺(3)側(cè)面鉆有同軸的螺紋孔四,石墨套(2)與黃銅臺(3)的螺紋孔四內(nèi)螺紋連接有頂絲,用以固定微刀具(1)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的熱真空環(huán)境下應用的微刀具涂層三維精密位移工作臺,其特征在于:所述的剪形升降機構(gòu)(18)包括八個鈑金件(8)、兩個連接柱(9)及四個鎖緊螺母(19),每兩個所述的鈑金件(8)組成一個剪形件(20),四個所述的剪形件(20)兩兩組成一組,兩組剪形件上下對應設(shè)置,每組剪形件左右并列設(shè)置,位于上部的一組剪形件的兩個前下端和兩個后下端以及位于下部的一組剪形件的兩個前上端和兩個后上端分別設(shè)有圓孔,所述的兩個連接柱(9)的兩端均設(shè)有外螺紋,位于上部的一組剪形件的兩個前下端的圓孔內(nèi)以及位于下部的一組剪形件的兩個前上端的圓孔內(nèi)滑動穿入一根所述的連接柱(9),位于上部的一組剪形件的兩個后下端的圓孔內(nèi)以及位于下部的一組剪形件的兩個后上端的圓孔內(nèi)滑動穿入另一根連接柱(9),每個連接柱(9)的兩端均緊固旋合有一鎖緊螺母(19)。
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C23C 對金屬材料的鍍覆;用金屬材料對材料的鍍覆;表面擴散法,化學轉(zhuǎn)化或置換法的金屬材料表面處理;真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆
C23C16-00 通過氣態(tài)化合物分解且表面材料的反應產(chǎn)物不留存于鍍層中的化學鍍覆,例如化學氣相沉積
C23C16-01 .在臨時基體上,例如在隨后通過浸蝕除去的基體上
C23C16-02 .待鍍材料的預處理
C23C16-04 .局部表面上的鍍覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金屬材料的沉積為特征的
C23C16-22 .以沉積金屬材料以外之無機材料為特征的
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