[發(fā)明專利]設(shè)計布局的失效風(fēng)險的智能型預(yù)診斷系統(tǒng)及方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201710249588.8
• 申請日: 2017-04-17
• 公開（公告）號: CN108694265B
• 公開（公告）日: 2023-02-03
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 呂一云
• 申請（專利權(quán)）人: 敖翔科技股份有限公司
• 主分類號: G06F30/392
• 分類號: G06F30/392
• 代理公司: 上海申新律師事務(wù)所 31272
• 代理人: 董科

1.一種設(shè)計布局的失效風(fēng)險的智能型預(yù)診斷系統(tǒng)，其特征在于，所述設(shè)計布局的失效風(fēng)險的智能型預(yù)診斷系統(tǒng)包括：

一區(qū)域定義模塊，用于在一物體的一設(shè)計布局上劃分出至少一布局區(qū)域，其中所述布局區(qū)域內(nèi)具有一布局圖案，所述布局圖案具有相同或是不同的圖案特征；

一缺陷產(chǎn)生模塊，用于取得多個缺陷數(shù)據(jù)，其中每一個所述缺陷數(shù)據(jù)包括一缺陷的一缺陷圖像與相關(guān)于所述缺陷的一缺陷尺寸及一缺陷形狀；

一分析模塊，用于按照尺寸的大小順序，將多個所述缺陷的缺陷圖像逐個與所述布局圖案的一預(yù)定部分進行比對，以得到相關(guān)于每一個所述缺陷的一致命缺陷指數(shù)；以及

一判斷模塊，用于根據(jù)多個所述致命缺陷指數(shù)判斷所述布局區(qū)域的一失效風(fēng)險等級；

其中若任一所述布局區(qū)域內(nèi)的所述布局圖案包含第一線寬、第一間距的圖案，所述分析模塊以最小尺寸或最小尺寸缺陷與具有所述第一線寬、所述第一間距的所述布局圖案進行比對，且所述致命缺陷指數(shù)顯示已達(dá)到高風(fēng)顯致命缺陷指數(shù)失效等級時，則所述判斷模塊判斷具有所述第一線寬、所述第一間距的所述布局圖案的所述布局區(qū)域為高失效風(fēng)險布局區(qū)域；

若任一所述布局區(qū)域內(nèi)的所述布局圖案包含有第二線寬、第二間距的所述圖案，所述分析模塊分析由最小尺寸至最大尺寸缺陷的致命缺陷指數(shù)時，以最小尺寸或最小尺寸缺陷與所具有所述第二線寬、所述第二間距的所述圖案進行比對，其致命缺陷指數(shù)為0，則所述判斷模塊判斷包含有所述第二線寬、所述第二間距的圖案的所述布局圖案的任一所述布局區(qū)域為中失效風(fēng)險布局區(qū)域；

若任一所述布局區(qū)域內(nèi)的所述布局圖案包含第三線寬、第三間距的圖案，且所述分析模塊以最小尺寸至最大尺寸的缺陷與具有所述第三線寬、所述第三間距的所述布局圖案進行比對，且所述致命缺陷指數(shù)顯示為低風(fēng)險致命缺陷指數(shù)失效等級時，則所述判斷模塊判斷具有所述第三線寬、所述第三間距的所述布局圖案的所述布局區(qū)域為低失效風(fēng)險布局區(qū)域；

若任一所述布局區(qū)域內(nèi)的所述布局圖案包含有圖案或是所述第三線寬、所述第三間距的所述圖案，所述分析模塊分析由最小尺寸至最大尺寸缺陷的致命缺陷指數(shù)時，以最小尺寸至最大尺寸的缺陷與所具有所述圖案、所述第三線寬、所述第三間距的所述圖案進行比對，其致命缺陷指數(shù)為0，則所述判斷模塊判斷包含有所述圖案或是所述第三線寬、所述第三間距的圖案的所述布局圖案的任一所述布局區(qū)域為低失效風(fēng)險布局區(qū)域；

若任一所述布局區(qū)域內(nèi)的所述布局圖案包含有第四線寬、第四間距的所述圖案，所述分析模塊分析由最小尺寸至最大尺寸缺陷的致命缺陷指數(shù)時，以最小尺寸至最大尺寸的缺陷與所具有所述第四線寬、所述第四間距的所述圖案進行比對，其致命缺陷指數(shù)為0，則所述判斷模塊判斷包含有所述第四線寬或是所述第三線寬、所述第四間距的圖案的所述布局圖案的任一所述布局區(qū)域為無失效風(fēng)險布局區(qū)域；以及

其中若任一所述布局區(qū)域內(nèi)不含有所述布局圖案，所述分析模塊分析由所述最小尺寸至所述最大尺寸缺陷的所述缺陷致命指數(shù)，且所述致命缺陷指數(shù)為無失效風(fēng)險等級時，則所述判斷模塊判斷不含有所述布局圖案的所述布局區(qū)域為無失效風(fēng)險布局區(qū)域。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的設(shè)計布局的失效風(fēng)險的智能型預(yù)診斷系統(tǒng)，其特征在于，所述分析模塊將多個所述缺陷圖像逐個從所述布局區(qū)域中的一起點坐標(biāo)沿一路徑移動至一終點坐標(biāo)，并按序在所述起點坐標(biāo)、所述終點坐標(biāo)及所述起點坐標(biāo)與所述終點坐標(biāo)之間的多個位置坐標(biāo)，分別與所述布局圖案的多個所述預(yù)定部分進行比對。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的設(shè)計布局的失效風(fēng)險的智能型預(yù)診斷系統(tǒng)，其特征在于，所述分析模塊先將多個所述缺陷圖像在所述布局區(qū)域中的一起點坐標(biāo)、一終點坐標(biāo)及所述起點坐標(biāo)與所述終點坐標(biāo)之間的多個位置坐標(biāo)的其中一個，逐個與所述布局圖案的所述預(yù)定部分進行比對，再將多個所述缺陷圖像在所述起點坐標(biāo)、所述終點坐標(biāo)及多個所述位置坐標(biāo)的另外一個，與所述布局圖案的另一所述預(yù)定部分進行比對。

4.根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的設(shè)計布局的失效風(fēng)險的智能型預(yù)診斷系統(tǒng)，其特征在于，所述分析模塊利用關(guān)鍵區(qū)域分析法得到多個所述致命缺陷指數(shù)。