[發明專利]柔性顯示基板激光剝離裝置及其激光剝離方法

在審

• 申請號: 201710245715.7
• 申請日: 2017-04-14
• 公開（公告）號: CN107104187A
• 公開（公告）日: 2017-08-29
• 發明（設計）人: 蔡哲汶;王思元
• 申請（專利權）人: 武漢華星光電技術有限公司
• 主分類號: H01L51/00
• 分類號: H01L51/00;H01L51/56
• 代理公司: 深圳翼盛智成知識產權事務所(普通合伙)44300
• 代理人: 黃威

1.一種柔性顯示基板激光剝離裝置，用于對待剝離的柔性顯示器件進行剝離，所述待剝離的柔性顯示器件包括載體基板及形成于所述載體基板上的柔性顯示基板，其特征在于，所述裝置包括：連續卷對卷的承載膜、真空吸附工作平臺以及激光光束；

所述承載膜，用于承載并傳送所述待剝離的柔性顯示器件至所述真空吸附工作平臺的對應位置，且所述柔性顯示基板貼合所述承載膜；

所述真空吸附工作平臺設于所述承載膜下方，用于啟動真空吸附所述柔性顯示基板；

所述激光光束設于所述承載膜上方且對應所述真空吸附工作平臺，用于對所述待剝離的柔性顯示器件進行激光剝離，且所述激光光束與所述承載膜之間的距離大于或等于所述待剝離的柔性顯示器件的厚度。

2.如權利要求1所述的裝置，其特征在于，所述載體基板為玻璃基板。

3.如權利要求1所述的裝置，其特征在于，所述激光光束的激光類型包括準分子或固態激光。

4.如權利要求1所述的裝置，其特征在于，所述裝置進一步包括：設于所述承載膜上方的真空吸盤；

所述承載膜進一步用于承載并傳送激光剝離后的柔性顯示器件至所述真空吸盤的對應位置；

所述真空吸盤，用于啟動真空吸附所述激光剝離后的柔性顯示器件中的所述載體基板，將所述載體基板與所述柔性顯示基板分離；

所述承載膜還用于傳送分離后的所述柔性顯示基板。

5.如權利要求4所述的裝置，其特征在于，所述承載膜上沉積有易離型的膠層；

當所述承載膜承載并傳送所述激光剝離后的柔性顯示器件至所述真空吸盤的對應位置后，利用所述膠層的粘性，通過所述真空吸盤將所述載體基板與所述柔性顯示基板分離，通過所述承載膜將分離后的所述柔性顯示基板傳送至下一工序。

6.一種柔性顯示基板激光剝離方法，其特征在于，采用權利要求1所述的柔性顯示基板激光剝離裝置；所述方法包括：

將待剝離的柔性顯示器件轉移貼合到卷對卷的承載膜上，且所述待剝離的柔性顯示器件中的柔性顯示基板貼合所述承載膜；

采用所述承載膜承載并傳送所述待剝離的柔性顯示器件至真空吸附工作平臺的對應位置；

采用所述真空吸附工作平臺啟動真空吸附所述柔性顯示基板；

采用激光光束對所述待剝離的柔性顯示器件進行激光剝離。

7.如權利要求6所述的方法，其特征在于，所述載體基板為玻璃基板。

8.如權利要求6所述的方法，其特征在于，所述激光光束的激光類型包括準分子或固態激光。

9.如權利要求6所述的方法，其特征在于，所述裝置進一步包括真空吸盤，所述真空吸盤設于所述承載膜上方；所述方法進一步包括：

采用所述承載膜承載并傳送激光剝離后的柔性顯示器件至所述真空吸盤的對應位置；

采用所述真空吸盤啟動真空吸附所述激光剝離后的柔性顯示器件中的載體基板，將所述載體基板與所述柔性顯示基板分離；

采用所述承載膜傳送分離后的所述柔性顯示基板。

10.如權利要求9所述的方法，其特征在于，所述承載膜上沉積有易離型的膠層；

當所述承載膜承載并傳送所述激光剝離后的柔性顯示器件至所述真空吸盤的對應位置后，利用所述膠層的粘性，通過所述真空吸盤將所述載體基板與所述柔性顯示基板分離，通過所述承載膜將分離后的所述柔性顯示基板傳送至下一工序。