[發明專利]一種激光誘導沉積制造圖案化石墨烯的裝置

有效

• 申請號: 201710245590.8
• 申請日: 2017-04-14
• 公開（公告）號: CN106927452B
• 公開（公告）日: 2018-11-13
• 發明（設計）人: 吳德志;鄧磊;孫瑜;朱宇超;羅毅輝;趙揚;王凌云;林立偉
• 申請（專利權）人: 廈門大學
• 主分類號: D01D5/00
• 分類號: D01D5/00;C01B32/184;B82Y30/00;B82Y40/00
• 代理公司: 廈門南強之路專利事務所(普通合伙) 35200
• 代理人: 馬應森

1.一種激光誘導沉積制造圖案化石墨烯的裝置，其特征在于設有電紡直寫前驅體平臺、激光誘導石墨烯化平臺和接收沉積石墨烯平臺；所述電紡直寫前驅體平臺設有注射泵、注射器、直流電源；激光誘導石墨烯化平臺設有CO₂激光器和惰性氣體保護系統；接收沉積石墨烯平臺設有收集板和二維運動平臺；所述注射器與注射泵連接，直流電源為注射器供電，CO₂激光器的光束聚焦在注射器的泰勒錐射流出口上，收集板設在二維運動平臺上并位于注射器的泰勒錐射流出口下方，惰性氣體保護系統為接收沉積石墨烯平臺提供惰性氣體保護。

2.如權利要求1所述一種激光誘導沉積制造圖案化石墨烯的裝置，其特征在于所述注射泵采用精密注射泵。

3.如權利要求1所述一種激光誘導沉積制造圖案化石墨烯的裝置，其特征在于所述直流電源采用直流高壓電源。

4.如權利要求1所述一種激光誘導沉積制造圖案化石墨烯的裝置，其特征在于所述CO₂激光器的波長采用10.6μm。