[發(fā)明專利]一種固定吸附式掃查器裝置及調(diào)整方法有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201710241865.0 | 申請日： | 2017-04-14 |
| 公開（公告）號： | CN106970150B | 公開（公告）日： | 2023-05-02 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 毛捷;宋波;冷濤;陳秋穎;安志武;馬驥;韓煒;胡玲;閆冉;張逸君;廉國選 | 申請（專利權(quán)）人： | 中國科學(xué)院聲學(xué)研究所 |
| 主分類號： | G01N29/06 | 分類號： | G01N29/06;G01N29/22 |
| 代理公司： | 北京億騰知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11309 | 代理人： | 陳霽 |
| 地址： | 100190 *** | 國省代碼： | 北京;11 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 固定 吸附 式掃查器 裝置 調(diào)整 方法 | ||
1.一種固定吸附式掃查器裝置，其特征在于，包括：多組吸盤體單元(1)、多組頂桿單元(2)、探頭組合體單元(3)、匯集口單元(4)、掃描軸單元(5)、步進(jìn)軸單元(6)、呈平行狀兩根支撐軸(7)及呈平行狀兩根導(dǎo)向軸(8)；其中，
所述多組吸盤體單元(1)為呈線性分布的四組吸盤體單元；所述兩根支撐軸(7)分別套穿入所述多組頂桿單元(2)，所述多組頂桿單元(2)等距分布；所述探頭組合體單元(3)與所述掃描軸單元(5)貼合連接；所述匯集口單元(4)與所述多組吸盤體單元(1)中的一組貼合連接；所述掃描軸單元(5)與所述兩根導(dǎo)向軸(8)對接；所述步進(jìn)軸單元(6)與所述多組吸盤體單元(1)中相鄰兩組吸盤體單元(1)貼合并串接所述掃描軸單元(5)；所述呈平行狀兩根支撐軸(7)及呈平行狀兩根導(dǎo)向軸(8)分布與所述多組吸盤體單元(1)對接成固定框體。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，所述多組吸盤體單元(1)中各吸盤體單元(1)包括框體座(9)、吸盤(10)、連桿(11)和氣接頭(12)，所述吸盤(10)和氣接頭(12)與所述連桿(11)呈螺紋方式旋接一體后，呈螺紋方式旋入到所述框體座(9)中。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，所述頂桿單元(2)包括與支撐軸(7)呈孔軸方式套穿入頂桿座(13)，與頂桿座(13)呈螺紋方式旋接頂桿(14)，頂桿單元(2)起到對縱立待測面支撐調(diào)平作用。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，所述探頭組合體單元(3)包括探頭定座(15)，貫穿探頭定座(15)與探頭上夾座(18)呈螺紋方式圓周均布旋接伸縮釘(16)，套穿于伸縮釘(16)的壓簧(17)，探頭(21)卡緊于探頭上夾座(18)卡腔內(nèi)，將噴水環(huán)(20)套穿入探頭(21)，通過卡箍其上探頭下夾座(19)鎖緊于探頭(21)，與噴水環(huán)(20)呈螺紋方式旋接進(jìn)液接頭(22)，探頭組合體單元(3)突出起到柔性自定心擺動及可環(huán)形自噴耦合劑功能。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的裝置，其特征在于，所述探頭定座(15)呈圓周均布3處錐形長槽(15-1)。
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的裝置，其特征在于，所述伸縮釘(16)設(shè)置有圓錐面(16-1)。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，所述匯集口單元(4)設(shè)置有夾板(23)、進(jìn)液引入接頭(24)、真空引入接頭(25)、信號線LEMO接口(26)和探頭LEMO接口(27)。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，所述掃描軸單元(5)包括平行套穿于兩根導(dǎo)向軸(8)上的箱式軸承座(28)，分別與箱式軸承座(28)貼合連接的XY軸支撐座(29)及X軸固定座(46)，支撐花鍵軸(43)且分別與XY軸支撐座(29)和X軸固定座(46)呈面向貼合對聯(lián)的花鍵軸座(33)，套穿入花鍵軸(43)與兩端花鍵軸座(33)端面貼合的X軸緩沖墊(34)，與X軸固定座(46)內(nèi)腔卡接X軸電機(jī)座(44)，與X軸電機(jī)座(44)呈孔軸定位方式連接X軸驅(qū)動電機(jī)(47)，套穿鎖定于X軸驅(qū)動電機(jī)(47)輸出軸上的驅(qū)動帶輪(45)，貼合于XY軸支撐座(29)上的惰輪座(30)，貫穿惰輪(32)與惰輪座(30)呈孔軸緊配合方式穿入惰輪軸(31)，與滑動于花鍵軸(43)上花鍵母(42)呈孔軸定位方式連接X軸動座(40)，與X軸動座(40)貼合連接下座(41)，貼合連接于X軸動座(40)上的X軸擋片(39)，對應(yīng)分別固定于XY軸支撐座(29)和X軸固定座(46)的開關(guān)架(35)上安裝的檢測開關(guān)(36)感應(yīng)槽口，貼合連接于X軸動座(40)上的拖鏈動架(38)，與分別固定于XY軸支撐座(29)和X軸固定座(46)的拖鏈定架(37)構(gòu)成拖鏈環(huán)，掃描軸單元(5)起到沿花鍵軸(43)線性定向并通過同步帶傳動方式拖動探頭組合體單元(3)做往復(fù)快速掃描，呈螺紋方式將探頭組合體單元(3)旋入鎖定。
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