[發(fā)明專利]缺陷檢查方法和缺陷檢查系統(tǒng)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201710240030.3
• 申請日: 2017-04-13
• 公開（公告）號: CN107305190B
• 公開（公告）日: 2020-08-04
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 安藤雄太
• 申請（專利權(quán)）人: 東京威爾斯股份有限公司
• 主分類號: G01N21/88
• 分類號: G01N21/88
• 代理公司: 北京市中咨律師事務(wù)所 11247
• 代理人: 萬利軍;段承恩

1.一種缺陷檢查方法，其特征在于，包括：

照明工序，將光照射到被檢查物的表面；

拍攝工序，對被檢查物的表面進行拍攝從而得到拍攝圖像；

配置工序，從拍攝圖像中提取出應(yīng)該檢測缺陷的缺陷分布區(qū)域和不需要檢測缺陷的噪聲分布區(qū)域，并將處于各區(qū)域的像素的顏色分量配置于將紅、綠和藍中的兩種顏色分量作為縱軸及橫軸的二維分布圖上；

分割工序，在二維分布圖上由分割直線將構(gòu)成缺陷分布區(qū)域的像素和構(gòu)成噪聲分布區(qū)域的像素分割開，該分割直線是利用基于圖像處理軟件的判別分析的統(tǒng)計、或與錯誤判斷相關(guān)的概率而決定的分割直線；

選拔工序，選拔出在二維分布圖上被分割直線分割開的兩個區(qū)域中的屬于位于缺陷分布區(qū)域側(cè)的區(qū)域的像素；

限定工序，將在選拔工序中選拔出的像素應(yīng)用到拍攝圖像中該像素原來所處的位置而生成限定拍攝圖像；以及

檢查執(zhí)行工序，使用限定拍攝圖像來執(zhí)行缺陷檢查。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的缺陷檢查方法，其特征在于，

光是白色光。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的缺陷檢查方法，其特征在于，

光是不同的兩種以上顏色的光。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的缺陷檢查方法，其特征在于，

光是不同顏色的第1色光、第2色光和第3色光。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的缺陷檢查方法，其特征在于，

第1色光、第2色光和第3色光分別是紅、綠和藍中的任意一種。

6.根據(jù)權(quán)利要求4或5所述的缺陷檢查方法，其特征在于，

在照明工序中，對被檢查物照射第1色光、第2色光和第3色光的位置的高度不同。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的缺陷檢查方法，其特征在于，

在將二維分布圖的縱軸設(shè)為y、橫軸設(shè)為x且a和b設(shè)為實數(shù)時，分割直線由一次式y(tǒng)＝ax+b表示。

8.一種缺陷檢查系統(tǒng)，其特征在于，具備：

照明裝置，將光照射到被檢查物的表面；

拍攝裝置，對被檢查物的表面進行拍攝從而得到拍攝圖像；以及

缺陷檢查裝置，對來自拍攝裝置的拍攝圖像實施圖像處理來進行缺陷檢查，

缺陷檢查裝置具備：

配置部，從拍攝圖像中提取出應(yīng)該檢測缺陷的缺陷分布區(qū)域和不需要檢測缺陷的噪聲分布區(qū)域，并將處于各區(qū)域的像素的顏色分量配置于將紅、綠和藍中的兩種顏色分量作為縱軸及橫軸的二維分布圖上；

分割部，在二維分布圖上通過分割直線將構(gòu)成缺陷分布區(qū)域的像素和構(gòu)成噪聲分布區(qū)域的像素分割開，該分割直線是利用基于圖像處理軟件的判別分析的統(tǒng)計、或與錯誤判斷相關(guān)的概率而決定的分割直線；

選拔部，選拔出在二維分布圖上被分割直線分割開的兩個區(qū)域中的屬于位于缺陷分布區(qū)域側(cè)的區(qū)域的像素；

限定部，將在選拔工序中選拔出的像素應(yīng)用到拍攝圖像中該像素原來所處的位置而生成限定拍攝圖像；以及

檢查執(zhí)行部，使用限定拍攝圖像來執(zhí)行缺陷檢查。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的缺陷檢查系統(tǒng)，其特征在于，

光是白色光。

10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的缺陷檢查系統(tǒng)，其特征在于，

光是不同的兩種以上顏色的光。

11.根據(jù)權(quán)利要求8所述的缺陷檢查系統(tǒng)，其特征在于，

光是不同顏色的第1色光、第2色光和第3色光。

12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的缺陷檢查系統(tǒng)，其特征在于，

第1色光、第2色光和第3色光分別是紅、綠和藍中的任意一種。

13.根據(jù)權(quán)利要求11或12所述的缺陷檢查系統(tǒng)，其特征在于，

在照明工序中，對被檢查物照射第1色光、第2色光和第3色光的位置的高度不同。

14.根據(jù)權(quán)利要求8所述的缺陷檢查系統(tǒng)，其特征在于，

在將二維分布圖的縱軸設(shè)為y、橫軸設(shè)為x且a和b設(shè)為實數(shù)時，分割直線由一次式y(tǒng)＝ax+b表示。