[發(fā)明專利]壓電微機電系統(tǒng)有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201710239774.3 | 申請日： | 2017-04-13 |
| 公開（公告）號： | CN107394037B | 公開（公告）日： | 2020-05-19 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 夏佳杰;M·普拉布哈錢德蘭·奈爾;Z·斯比阿;R·P·耶勒漢卡;R·庫馬爾 | 申請（專利權(quán)）人： | 新加坡商世界先進積體電路私人有限公司 |
| 主分類號： | H01L41/083 | 分類號： | H01L41/083;H01L41/27;B81B7/02 |
| 代理公司： | 深圳新創(chuàng)友知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 44223 | 代理人： | 江耀純 |
| 地址： | 新*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 壓電 微機 系統(tǒng) | ||
本發(fā)明涉及壓電微機電系統(tǒng)，為一種在通過介電層分離的襯底上包括壓電堆棧的微機電系統(tǒng)(MEMS)裝置。壓電堆棧包括第一壓電層與第二壓電層，其具有位在第一壓電層與接觸墊下面的第一電極、以及位在第一壓電層與第二壓電層間的第二電極。第一接觸穿過壓電層與接觸墊延展至第一電極，而第二接觸穿過第二壓電層延展至第二電極。接觸墊防止接觸開口中的第一壓電層與第二壓電層間形成接口，從而防止壓電層在接觸形成過程中遭受侵蝕。
相關(guān)申請案交互參照
本申請案主張2016年4月15日提出申請的美國臨時專利申請案第62/322,815號的權(quán)益，其全文是基于所有目的并入本文作為參考。
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明大體上是關(guān)于半導(dǎo)體裝置及用于形成半導(dǎo)體裝置的方法。
背景技術(shù)
壓電堆棧諸如氮化鋁(AlN)為主的壓電堆棧等，近年來已隨著趨勢朝向下一代微機電系統(tǒng)(MEMS)而受到歡迎，微機電系統(tǒng)包括壓電微機械超音波換能器(PMUT)、慣性傳感器、共振器、射頻(RF)濾波器等。多層氮化鋁(AlN)提供良好的隔板/懸臂平坦度控制，并且提供更多信號輸出。然而，仍需要一種容許在多層壓電堆棧上形成結(jié)構(gòu)但不使壓電層間接口遭受破壞的程序。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的具體實施例大體上是關(guān)于半導(dǎo)體裝置及用于形成半導(dǎo)體裝置的方法。在一項具體實施例中，揭示一種用于形成裝置的方法。該方法包括提供具有第一主表面與第二主表面的襯底(substrate)。在該襯底的至少該第一主表面上形成介電層。在該襯底上形成壓電堆棧。該壓電堆棧包括在該襯底的該第一主表面上具有第一電極的圖案化第一底電極層、位在該圖案化第一電極層上的第一壓電層、位在該第一壓電層上包括電極墊及第二電極的圖案化第二底電極層、以及位在該第一壓電層及該圖案化第二電極層上的第二壓電層。在該壓電堆棧中形成第一接觸(contact)與第二接觸。該第一接觸穿過該第一壓電層延展，并且電耦合至該第一電極。該第一接觸是由介于該第一壓電層與該第二壓電層間的該電極墊所圍繞。該第二接觸穿過該第二壓電層延展，并且電耦合至該第二電極。
在另一具體實施例中，揭示一種微機電系統(tǒng)(MEMS)裝置。該裝置包括具有第一主表面與第二主表面的襯底，且該襯底的至少該第一主表面上形成有介電層。位在該襯底上的壓電堆棧包括在該襯底的該第一主表面上具有第一電極的圖案化第一底電極層、位在該圖案化第一電極層上的第一壓電層、位在該第一壓電層上包括電極墊及第二電極的圖案化第二底電極層、以及位在該第一壓電層及該圖案化第二電極層上的第二壓電層。該裝置更包括位在該壓電堆棧中的第一接觸與第二接觸。該第一接觸穿過該第一壓電層延展，并且電耦合至該第一電極。該第一接觸是由介于該第一壓電層與該第二壓電層間的該電極墊所圍繞。該第二接觸穿過該第二壓電層延展，并且電耦合至該第二電極。
在又一具體實施例中，揭示一種用于形成裝置的方法。該方法包括提供具有第一主表面與第二主表面的襯底。在該襯底的至少該第一主表面上形成介電層。在該襯底上形成壓電堆棧，其包括具有第一電極的圖案化第一底電極層、位在該圖案化第一電極層上的第一壓電層、位在該第一壓電層上包括電極墊及第二電極的圖案化第二底電極層、以及位在該第一壓電層及該圖案化第二電極層上的第二壓電層。在該壓電堆棧中形成第一接觸與第二接觸。該第一接觸穿過該第一壓電層延展，并且電耦合至該第一電極。該第一接觸是由介于該第一壓電層與該第二壓電層間的該電極墊所圍繞。該第二接觸穿過該第二壓電層延展，并且電耦合至該第二電極。本方法更包括在該第二壓電堆棧上形成頂電極層。圖案化該頂電極層以形成耦合至該第一接觸的第一頂電極、及耦合至該第二接觸的第二頂電極。
本文中所揭示的具體實施例的這些及其它優(yōu)點及特征，透過參考以下說明及附圖會變?yōu)轱@而易見。再者，要了解的是，本文中所述的各項具體實施例的特征并不互斥，并且可用各種組合及排列呈現(xiàn)。
附圖說明
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