[發明專利]抽真空效率高的光學用真空腔體及對其抽真空的操作方法

有效

• 申請號: 201710239324.4
• 申請日: 2017-04-13
• 公開（公告）號: CN107043909B
• 公開（公告）日: 2019-01-11
• 發明（設計）人: 瞿建強;瞿一濤;黃仕強;陸彬鋒
• 申請（專利權）人: 江陰市光科真空機械有限公司
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24;C23C14/56
• 代理公司: 江陰義海知識產權代理事務所(普通合伙) 32247
• 代理人: 王明亮

1.抽真空效率高的光學用真空腔體，包括真空腔室和蒸發加熱裝置，真空腔室的頂部固定設有用于夾持待真空鍍膜樣品的樣品夾具，蒸發加熱裝置用于將薄膜材料加熱蒸發，真空腔室外側設有通道，抽真空裝置通過通道與真空腔室連通，其特征在于，真空腔室的底部設有臺階，臺階的形狀與蒸發加熱裝置相匹配，通道外表面設有通孔，通道外設置環形的熱空氣儲熱部，熱空氣儲熱部和通道之間設有用于儲存收集熱空氣的環形區域；熱空氣儲熱部與真空腔室固定連接；還包括余熱利用收集部，所述余熱利用收集部中空且具備兩個端口，其中一個端口與通孔相連；通道的靠近抽真空裝置的端口和/或熱空氣儲熱部的靠近抽真空裝置的端口上設有閥門。

2.根據權利要求1所述的抽真空效率高的光學用真空腔體，其特征在于，所述熱空氣儲熱部采用絕熱柔性材質制成；熱空氣儲熱部與真空腔室通過膠黏劑固定連接；所述余熱利用收集部采用彈性材質制成。

3.根據權利要求1所述的抽真空效率高的光學用真空腔體，其特征在于，所述通道的位于下底部的內壁上設有至少一根余熱利用收集部的支撐桿，所述支撐桿的一端固定連接在通道的內壁上。

4.根據權利要求1所述的抽真空效率高的光學用真空腔體，其特征在于，所述臺階上設有用于支撐余熱利用收集部的凹槽，凹槽的形狀與余熱利用收集部匹配。

5.根據權利要求1所述的抽真空效率高的光學用真空腔體，其特征在于，所述腔室的頂部還固定設有剛性連接桿，剛性桿的另一端與余熱利用收集部固定連接。

6.根據權利要求1至5中任一項所述的抽真空效率高的光學用真空腔體，其特征在于，所述余熱利用收集部中空且具備兩個端口，其中一個端口與通孔相連，另一個端口正對著蒸發加熱裝置，正對著蒸發加熱裝置的端口上設置一個用于密封此端口的夾子；所述夾子由兩個均形成鈍角的折線形夾子桿構成，兩個夾子桿的靠近其中一端的中部通過鉸接軸鉸連接在一起，夾子桿的前端為用于夾緊余熱利用收集部的端口的夾子頭，夾子桿的后端為用于操作夾子夾緊或松開的夾子把，所述夾子把通過真空腔室側面設置的側通孔伸出真空腔室外，真空腔室側面設置將夾子把和側通孔密封的塑料密封包，所述塑料密封包通過膠黏劑固定連接在真空腔室的側面，所述塑料密封包由一段硬質塑料和一段彈性軟質塑料構成，彈性軟質塑料位于整個塑料密封包的靠近夾子把處。

7.根據權利要求1至5中任一項所述的抽真空效率高的光學用真空腔體，其特征在于，所述余熱利用收集部中空且具備兩個端口，其中一個端口與通孔相連，另一個端口經彎折后位于通道內且被夾子夾緊，所述夾子把通過通道上壁設置的第二通孔以及熱空氣儲熱部上壁上設置的貫穿孔伸出熱空氣儲熱部外，熱空氣儲熱部的貫穿孔處設置將夾子把和熱空氣儲熱部的貫穿孔密封的塑料密封包，所述塑料密封包通過膠黏劑固定連接在熱空氣儲熱部的外表面，所述塑料密封包由一段硬質塑料和一段彈性軟質塑料構成，彈性軟質塑料位于整個塑料密封包的靠近夾子把處。

8.用于對權利要求6所述的光學用真空腔體抽真空的操作方法，其特征在于，具體步驟如下：

a. 在真空腔室上和熱空氣儲熱部上分別連接真空度表；

b.夾子夾緊余熱利用收集部的正對著蒸發加熱裝置正上方的端口后啟動抽真空裝置，當余熱利用收集部和熱空氣儲熱部形成的空間內的真空度低于真空腔室的目標真空度時將熱空氣儲熱部的靠近抽真空裝置的一端夾緊密封；

c.待真空腔室抽真空完成后開始加熱蒸發源，這時通過伸出真空腔室側面的夾子把將余熱利用收集部的正對加熱裝置正上方的端口打開，加熱鍍膜結束，再通過伸出真空腔室側面的夾子把將余熱利用收集部的正對加熱裝置正上方的端口夾緊密封；

d.下次抽真空時先保持熱空氣儲熱部密封，抽真空一段時間后再打開熱空氣儲熱部的靠近抽真空裝置的一端，根據真空度表的示數當熱空氣儲熱部的真空度低于真空腔室目標真空度時夾緊熱空氣儲熱部的靠近抽真空裝置的一端，然后重復步驟c；

e.重復步驟d。