[發明專利]擋板和噴頭組件及相應的制造方法

有效

• 申請號: 201710239093.7
• 申請日: 2017-04-13
• 公開（公告）號: CN107385415B
• 公開（公告）日: 2021-09-07
• 發明（設計）人: 埃里克·拉塞爾·馬德森;蘭斯·迪爾達爾
• 申請（專利權）人: 朗姆研究公司
• 主分類號: C23C16/455
• 分類號: C23C16/455;C23C16/50;C23C14/48;C23C14/22;H01L21/67
• 代理公司: 上海勝康律師事務所 31263
• 代理人: 樊英如;張靜

1.一種擋板組件，其包括：

擋板，其具有外徑并且被配置成從襯底處理系統的噴頭組件的桿接收氣體且將所述氣體分配通過所述噴頭組件的噴頭；

環，其具有內徑并且被配置為設置在所述噴頭組件的環形通道中，其中所述內徑大于所述擋板的外徑；以及

多個支撐構件，其從所述擋板延伸到所述環，其中所述多個支撐構件被配置成放置在所述噴頭組件的所述桿的襯圈中的凹口中，

其中所述環和所述多個支撐構件被配置成將所述擋板保持在所述噴頭的頂板和底板之間的位置；以及

其中所述擋板包括多個孔，所述氣體的部分穿過所述多個孔。

2.根據權利要求1所述的擋板組件，其中所述多個支撐構件中的每個在所述擋板處比在所述環處更厚。

3.根據權利要求1所述的擋板組件，其中所述多個支撐構件包括錐形底表面。

4.根據權利要求1所述的擋板組件，其中所述多個支撐構件中的每個包括：

頂表面，所述頂表面平行于所述桿的底表面或所述噴頭的所述頂板的底表面延伸；以及

錐形底表面。

5.根據權利要求1所述的擋板組件，其中所述擋板的頂表面、所述多個支撐構件的頂表面和所述環的頂表面在同一平面中。

6.一種噴頭組件，其包括：

根據權利要求1所述的擋板組件，以及

所述噴頭，

其中，

所述擋板從所述噴頭組件的所述桿接收所述氣體且將所述氣體分配通過所述噴頭；

所述環被設置在所述噴頭組件的所述環形通道中；以及

所述環和所述多個支撐構件將所述擋板保持在所述噴頭的所述頂板和所述底板之間的位置。

7.根據權利要求6所述的噴頭組件，其還包括所述桿，

其中所述頂板連接到所述桿并且包括所述環形通道。

8.根據權利要求7所述的噴頭組件，其中：

所述桿包括凹口；以及

所述多個支撐構件中的每個支撐構件的一部分被放置在所述凹口中的相應的一個凹口中。

9.根據權利要求8所述的噴頭組件，其中所述多個支撐構件的所述部分具有與所述凹口熱過盈配合。

10.根據權利要求7所述的噴頭組件，其中所述環被焊接到所述桿或所述頂板。

11.根據權利要求7所述的噴頭組件，其中所述環被摩擦攪拌焊接到所述桿和所述頂板。

12.根據權利要求7所述的噴頭組件，其中：

所述環被摩擦攪拌焊接到所述桿上；以及

所述桿被摩擦攪拌焊接到所述頂板上。

13.根據權利要求7所述的噴頭組件，其中：

所述桿包括模具片；

所述環包括凹口；以及

所述模具片被至少部分地壓制到所述環的所述凹口中。

14.根據權利要求7所述的噴頭組件，其中所述環具有與所述環形通道的熱過盈配合。

15.根據權利要求7所述的噴頭組件，其中所述環鄰接所述噴頭的所述頂板。